V-741 High-Precision XY Stage
高い移動精度と安定性、トラベルレンジ305 mm × 305 mm、磁気直接駆動
- トラベルレンジ305 mm × 305 mm (12")
- 一方向再現性0.1 µm
- コアレス3相リニアモーター
- 最大速度 200 mm/s
- 分解能1 nmのインクリメンタルリニアエンコーダー
- クロスローラーガイド
PIMag磁気駆動ドライブ
3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレイン内で機械部品を使用しないため、駆動力を直接摩擦プラットフォームの動プラットフォームに伝達します。ドライブは高速度と加速度に到達します。 アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度に対する要求が最も高い位置決め作業に特に適しています。これにより、最低速度でもスムーズな走行が可能になり、同時に高速度での振動がなくなります。制御動作の非線形性が回避され、どの位置でも簡単に制御できます。ドライブフォースは自由に設定できます。
クロスローラーガイド
クロスローラーガイドにより、ボールガイドのボールの点接触ではなく強化ローラーが線で接触するようになっています。これにより剛性が著しく増すとともに必要なプリロードが抑えられているため、摩擦が低減しスムーズな動作が可能となっています。クロスローラーガイドには、ガイド精度が高く耐荷重が大きいという特徴もあります。また、回転素子の保持器を強制的にガイドすることで、保持器のずれを抑えています。
インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定
非接触光学エンコーダーは、最高精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響を与えません。
その他の移動範囲もご要望に応じます。
応用分野
医療産業. レーザー切断. スキャニング. バイオテクノロジー. 計測. AOI (Automatic Optical Inspection:自動光学検査). レーザーマーキング.
仕様
仕様
動作および位置決め | V-741.136111 | 単位 | 誤差 |
---|---|---|---|
駆動軸 | X、Y | ||
移動範囲 | 305 × 305 | mm | |
内蔵センサー | インクリメンタルエンコーダー | ||
設計分解能 | 0.001 | µm | |
センサー信号 | sin/cos、ピーク間電圧1 V、信号周期20 µm | ||
最小インクリメンタルモーション | 0.02 | µm | 標準 |
一方向繰り返し性 | 0.1 | µm | 標準 |
双方向繰り返し性 | ±0.25 | µm | 標準 |
角度エラーxry (ピッチング) | ±70 | µrad | 標準 |
角度エラーxrz (ヨーイング) | ±50 | µrad | 標準 |
角度エラーyrx (ピッチング) | ±60 | µrad | 標準 |
角度エラーyrz (ヨーイング) | ±50 | µrad | 標準 |
直交性 | ±96.963 | µrad | 標準 |
真直度/平坦度 | ±3 | µm | 標準 |
速度 | 200 | mm/s | 最大 |
X方向の加速、荷重なし | 3 | m/s² | 最大 |
Y方向の加速、荷重なし | 9 | m/s² | 最大 |
基準点スイッチとリミットスイッチ | 光学 |
ダウンロード
データシート
ドキュメント
User Manual MP184
L-741 / V-741 Precision XY Stage
3D モデル
V-741 3-D model
見積 / 発注
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