V-741 High-Precision XY Stage

高い移動精度と安定性、トラベルレンジ305 mm × 305 mm、磁気直接駆動

トラベルレンジ305 mm × 305 mm (12")
一方向再現性0.1 µm
コアレス3相リニアモーター
最大速度 200 mm/s
分解能1 nmのインクリメンタルリニアエンコーダー
クロスローラーガイド

V-741.136111

V-741寸法(mm)

3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレイン内で機械部品を使用しないため、駆動力を直接摩擦プラットフォームの動プラットフォームに伝達します。ドライブは高速度と加速度に到達します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度に対する要求が最も高い位置決め作業に特に適しています。これにより、最低速度でもスムーズな走行が可能になり、同時に高速度での振動がなくなります。制御動作の非線形性が回避され、どの位置でも簡単に制御できます。ドライブフォースは自由に設定できます。

クロスローラーガイドにより、ボールガイドのボールの点接触ではなく強化ローラーが線で接触するようになっています。これにより剛性が著しく増すとともに必要なプリロードが抑えられているため、摩擦が低減しスムーズな動作が可能となっています。クロスローラーガイドには、ガイド精度が高く耐荷重が大きいという特徴もあります。また、回転素子の保持器を強制的にガイドすることで、保持器のずれを抑えています。

非接触光学エンコーダーは、最高精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響を与えません。

その他の移動範囲もご要望に応じます。

医療産業. レーザー切断. スキャニング. バイオテクノロジー. 計測. AOI (Automatic Optical Inspection：自動光学検査). レーザーマーキング.

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データシート

日付 / バージョン

2020-09-16

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2019-07-16

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動作および位置決め	V-741.136111	単位	誤差
駆動軸	X、Y
移動範囲	305 × 305	mm
内蔵センサー	インクリメンタルエンコーダー
設計分解能	0.001	µm
センサー信号	sin/cos、ピーク間電圧1 V、信号周期20 µm
最小インクリメンタルモーション	0.02	µm	標準
一方向繰り返し性	0.1	µm	標準
双方向繰り返し性	±0.25	µm	標準
角度エラーxry (ピッチング)	±70	µrad	標準
角度エラーxrz (ヨーイング)	±50	µrad	標準
角度エラーyrx (ピッチング)	±60	µrad	標準
角度エラーyrz (ヨーイング)	±50	µrad	標準
直交性	±96.963	µrad	標準
真直度/平坦度	±3	µm	標準
速度	200	mm/s	最大
X方向の加速、荷重なし	3	m/s²	最大
Y方向の加速、荷重なし	9	m/s²	最大
基準点スイッチとリミットスイッチ	光学

機械特性	V-741.136111	単位	誤差
耐荷重	50	N	最大
許容トルク(θ_X、θ_Y方向)	125	Nm	最大
許容トルク(θ_Z方向)	125	Nm	最大
ガイド	保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド

駆動特性	V-741.136111	単位	公差
モータータイプ	コアレス3相リニアモーター
公称動作電圧	48	V	公称
最大動作電圧	48	V	最大
ピーク力	80	N	最大
圧力	29	N	標準
ピーク電流、RMS	5	A	標準
公称電流、RMS	1.5	A	標準
力定数、RMS	19.9	N/A	標準
モーター定数	4.89	N/√W	標準
電気的時定数	0.4	ms
抵抗(相間)	11	Ω	標準
インダクタンス(相間)	3.6	mH	標準
相間逆起電力	16	Vs/m	最大
ポールピッチングN-N	30	mm

その他	V-741.136111	単位	公差
動作温度範囲	5～40	°C
材料	アルミニウム、黒アルマイト加工
移動質量(X方向)	25.5	kg	±5 %
移動質量(Y方向)	9.2	kg	±5 %
全体質量	33	kg	±5 %
MTBF	20000	h
コネクタ	2 × HD D-sub 26 (m) (モータ) 2 × D-sub 15 (f) (センサー)
推奨コントローラー	SMC Hydra(二重軸) C-891 (単一軸) C-891.11C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュール式コントローラー

納入品目に、推奨コントローラーの動作に必要なすべてのケーブルが含まれています。ケーブル長は3 mです。他のコントローラーと接続するケーブルはアクセサリーとしてご注文いただけます。

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データシート

日付 / バージョン

2020-09-16

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ドキュメント

Positioners with Magnetic Linear Motor: V-308 / V-408 / V-508 / V-52x / V-551 / V-610 / V-73x / V-741

日付 / バージョン

4.0.0 12/2020

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日付 / バージョン

4.0.0 12/2020

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ドキュメント

L-741 / V-741 Precision XY Stage

日付 / バージョン

1.1.2 2020-06-30

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日付 / バージョン

1.1.2 2020-06-30

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３D モデル

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Separate connection cable required for motor and sensor connection respectively.

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V-741.136111

PIMag精度XYステージ, 410 mm × 410 mm 幅, 305 × 305 mm トラベルレンジ, コアレス3相リニアモーター, 48 V, インクリメンタルインクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission), 20 µm センサー信号ピリオド、3 mケーブルセット付属

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