P-561 • P-562 • P-563 PIMars Nanopositioning Stage

Parallel kinematics / metrology for enhanced responsiveness and multi-axis precision
Travel ranges to 300 x 300 x 300 µm
Highest linearity and stability with capacitive sensors
Frictionless, high-precision flexure guiding system
Excellent scanning flatness
High-dynamics XYZ version available
Clear aperture 66 mm x 66 mm
Outstanding lifetime due to PICMA® piezo actuators
UHV versions to 10-9 hPa

Specifications

Datasheet P-561 • P-562 • P-563 (英語)

バージョン/日付
2017-05-08
バージョン/日付
2017-05-08
ドキュメントの言語
pdf - 1,014 KB
pdf - 1,017 KB

Drawings / Images

P-561.3DD Drawing
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PI P-562.6CD Drawing

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データシート

Datasheet P-561 • P-562 • P-563 (英語)

バージョン/日付
2017-05-08
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2017-05-08
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ドキュメント

Short Instructions PZ240EKDK (英語)

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezo Positionings Systems
バージョン/日付
4.0.0 2017-02-06

User Manual PZ248 (英語)

P-561, P-562, P-563 PIMars XYZ Nanopositioning Systems
バージョン/日付
2013-11-22
バージョン/日付
2013-11-22
ドキュメントの言語

3D モデル

P-56x STEP