P-733.2 XYピエゾナノポジショナー

高精度開口部付XYスキャナー

P-733.2 XYピエゾナノポジショナー
製品について 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • トラベルレンジ:XY軸 100μmx100μm
  • 静電容量センサーにより分解能~0.1mmを実現
  • 直動式の高速タイプ
  • 真空バージョンと非磁性バージョン対応可能可能
  • パラレル制御によるダイナミクスの向上/多軸の精密制御
  • パラレル制御によるアクティブ軌道制御
  • ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
  • 透過光アプリケーションに適した50x50mmのセンター開口部

応用分野

  • 顕微鏡のスキャニング
  • 走査型顕微鏡
  • マスク/ウエハー位置決め
  • 表面形状解析
  • ナノポジショニング
  • マイクロマニピュレーション
  • 画像処理/安定化
  • 高平坦度/直進度のナノポジショニング

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

自動構成と高速コンポーネント交換

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

ダイレクト計測による最大精度

モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定されます。

これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。

平行運動による高ダイナミック多軸動作

平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。

高度な真空アプリケーションに適しています

ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。

動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率

仕様

Datasheet P-733.2

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-06-14
バージョン/日付
2018-07-11
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-733.2

バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-04-16
バージョン/日付
2018-06-14
バージョン/日付
2018-07-11
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual PZ103 (英語)

P-733, P-734 Piezo Nanopositioning Systems with Capacitive Sensors
バージョン/日付
2012-12-10
バージョン/日付
2012-12-10
ドキュメントの言語

Short Instructions PZ240EKDK (英語)

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezo Positionings Systems
バージョン/日付
4.0.0 2017-02-06

Overview Microscopy Accessories (英語)

PI Microscopy Sample Holders and Adapter Plates for Microscope Stages
バージョン/日付
2018-05-16
バージョン/日付
2018-05-16
ドキュメントの言語

3D モデル

P-733 STEP

見積 / 発注

要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます

直接駆動時

D-subコネクターバージョン(m)

LEMOコネクタ搭載バージョン

アクセサリ

リニアポジショナー 真空対応(10-9hPa)