P-518 • P-528 • P-558 ピエゾフレクシャZ/チップ/チルトステージ

大型開口部つき ハイダイナミクス

P-518 • P-528 • P-558 ピエゾフレクシャZ/チップ/チルトステージ
製品について 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • Z/チップ/チルトピエゾフレクシャステージ/3軸/Zステージ1軸バージョンあり
  • クローズドループの垂直/チルトレンジ~200μm/2mradを実現(オープンループは~240μm/2.4mrad)
  • パラレル制御による高速応答時間と多軸の精密制御
  • ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
  • 開口部 66  mm × 66  mm
  • 静電容量センサーによる高リニアリティ

応用分野

  • 計測
  • 干渉計
  • フォトニクス/内蔵型光学装置
  • リソグラフィ
  • ナノポジショニング
  • 顕微鏡のスキャニング
  • サンプルアライメント
  • マイクロ機械加工

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。

優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

自動構成と高速コンポーネント交換

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

平行位置測定によるナノメートル範囲の高いトラッキング精度

すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。他軸への望ましくない動作のクロストークは、リアルタイムで(帯域幅に応じて)積極的に補正することができます(アクティブガイド)。ダイナミック操作でも、ナノメートルの範囲で高いトラッキング精度が達成可能。

仕様

Datasheet P-518 • P-528 • P-558 (英語)

バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-07-16
バージョン/日付
2018-07-10
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

Datasheet P-518 • P-528 • P-558 (英語)

バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-05-08
バージョン/日付
2018-07-16
バージョン/日付
2018-07-10
ドキュメントの言語

ドキュメント

User Manual PZ82 (英語)

P-517, P-518, P-527, P-528, P-558 Piezo Nanopositioning Systems with Capacitive Sensors
バージョン/日付
2013-09-05
バージョン/日付
2013-09-05
ドキュメントの言語

Short Instructions PZ240EKDK (英語)

P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezo Positionings Systems
バージョン/日付
4.0.0 2017-02-06

3D モデル

P-5x8 STEP

見積 / 発注

要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます