PIglideエアベアリングテクノロジー

ナノメートルの精度、単軸および多軸モーション

  • 摩擦がなく高精度の位置決め
  • 非常に優れた速度安定性 
  • 最大5 µrad/100 mmの非常に優れたガイド精度
  • ガントリー向けのアクティブヨーイング制御
  • 直接駆動リニアモーターおよびトルクモーターによりスムーズな高速スキャンに対応
  • ACS Motion Control社の協力を受けた最先端の制御技術

OEMに対応したエアベアリングテクノロジーの経験

弊社はエアベアリングについて200人年を超える社内製造の経験を積んでおり、エアベアリングを搭載した高精度なモーション制御および位置決め製品とシステムを幅広く取り揃えています。この新たなエアベアリングシステムは、40年にわたるピエゾナノポジショニングシステムの設計およびモーター駆動高精度位置決め装置の経験により、高精度モーション製品から自然かつ論理的に生まれました。


特性

静摩擦はほぼ解消するとともに分解能が向上しており、数個の基本エンコーダカウント内の位置再現性が得られます。ただし、トラベルレンジがはるかに小さい場合には、ピエゾフレクシャガイドステージでも同等の精度を実現できます。


アクティブヨーコントロール

誤差補正

ご要望に応え、弊社はPIglide HS平面XYステージのデュアルモーション軸にアクティブヨーイング制御アルゴリズムを搭載しました。Y軸およびヨーイング軸には、直線モーションと回転モーションの制御用の制御ループを別途備えています。

  • 動的性能の改善
  • 誤差マッピングの簡略化
  • モーションの分離 – 行列演算なし
  • 柔軟なステージ設計により最大1度のθ回転を実現
  • 小規模の配列モーションおよび誤差マッピングに対応

誤差マッピングは以下について実行可能です。

  • X (交差)軸の真直度およびヨーイング
  • Y (デュアルモーター)軸の真直度およびヨーイング
  • XY直交性

 

 

対応力

弊社では、対応力に優れたエンジニアリング相談サポートと無駄のない製造手法を組み合わせることにより、最高品質のお客様サービスを実現しています。特許技術で自社開発した装置を用い、幅広い設計と分析に関する知識により高精度システムのパフォーマンスを最大限に引き出しています。


動作原理

ダイレクトドライブモーターと高分解能エンコーダにより、エアベアリングで支持した移動キャリッジの位置決めを、直線用途ではナノメートル以内、回転用途では1/10秒角以内で行うことができます。摩擦も機械的な接触もないためヒステリシスや反転誤差が最小限に抑えられ、再現性に優れており、さまざまな点検および製造業務に最適です。


カスタムシステム

弊社エアベアリング部門では、標準製品に加えて、測定および製造用途向けに世界最高レベルの多軸ターンキーシステムを提供しています。

お問い合わせ

担当者よりお問合せにつきまして、すぐにご連絡をさせて頂きます。

ダウンロード

Brochure: PIglide Air Bearing Technology

Nanometer Precision, Multi-Axis Motion, Stadard and Custom Design
バージョン/日付
BRO46
ドキュメントの言語 英語

Whitepaper: Air Bearings: When to Use and When to Avoid in Your Motion Applicaition

All Positioning Stages are not Created Equal. Author: Matt Reck, PI
バージョン/日付
WP4003 2015-09
ドキュメントの言語 英語