一体型ピエゾアクチュエータ

サブミリ秒の応答時間とサブナノメートルの分解能

  • 電気的に絶縁し、統合を簡略化し、アクチュエータを環境条件から保護する機械的アダプター搭載ケース
  • 力学的プリロードにより動的な動作を実現
  • 直線モーションを可能にするフレクシャガイド
  • フレクシャガイドに機械的レバー増幅機構を一体化し、トラベルレンジを増大
  • 数ナノメートルの再現性を実現するひずみゲージセンサー(SGS)

応用事例

ピエゾアクチュエータは、機械的に一体化することでより使いやすくなります。動的な用途では移動する荷重の慣性により必ずピエゾ素子に引張力が働きますが、この力を防ぐため、ピエゾ素子には力学的プリロードを搭載する必要があります。これを行うには、機械ケースの中に入れるか、フレクシャジョイントを使用します。後者では、モーションを追加でガイドするか偏向させることができ、またレバー増幅機構によりトラベルレンジを増大させることも可能です。弊社のプリロード付き一体型ピエゾアクチュエータでは純粋なピエゾ素子とピエゾポジショニングシステムが一体化されており、位置決めを簡単に行うことができます。

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PiezoMoveレバー増幅アクチュエータ

最大トラベルレンジ2 mmのガイド付きアクチュエータ

ガイドとプリロードを備えたレバー増幅機構付きの多層ピエゾアクチュエータは、マイクロ流体工学、バイオテクノロジー、医療テクノロジー、メカトロニクス、適応システムテクノロジー、レーザーテクノロジー、計測においてバルブ、ポンプ、マイクロ分注、ナノ分注、アクティブ制振、サンプルの取扱い、およびインプリントテクノロジーに使用されています。

機械的ガイド、プリロード、レバー増幅機構により最大2 mmのトラベルレンジを実現
数ナノメートルの再現性を達成したひずみゲージセンサー搭載バージョンも利用可能
統合および大量注文に対応した低コストOEMソリューション

小型アクチュエータ

プリロード付きPICMAピエゾリニアアクチュエータ

特に高精度メカニカルエンジニアリング、材料加工、材料形成、振動のアクティブ補償では、高い精度と大きな発生力の両立が求められる非常に動的な用途が見られます。10-9hPaまでの真空環境や、超高温または超低温の動作温度に対応したデザインをご用意しています。

サブミリ秒の応答時間とサブナノメートルの分解能
SGSポジショニング搭載バージョンあり
防水バージョンあり

高荷重対応アクチュエータ

プリロード付き小型PICAピエゾリニアアクチュエータ

特に高精度メカニカルエンジニアリング、材料加工、材料形成、振動のアクティブ補償では、高い精度と大きな発生力の両立が求められる非常に動的な用途が見られます。10-9hPaまでの真空環境や、超高温または超低温の動作温度に対応したデザインをご用意しています。

サブミリ秒の応答時間とサブナノメートルの分解能
末端部を変更可能な小型ステンレス鋼ケース
SGSポジショニング搭載バージョンあり

PICMA多層ベンディングアクチュエータ

位置センサー搭載

バイモルフ設計、並進対称
サブミリ秒の応答時間とサブナノメートルの分解能
容易に統合可能

ピエゾディスクトランスレータ

バイモルフ設計、並進対称
ハイダイナミクス
低プロファイル、統合が簡単

モーションコントローラーおよびアンプ

PI offers a wide range of options for controlling integrated piezo actuators from cased digital motion controllers to OEM PC boards:

 

適した
ドライブエレクトロニクス
PiezoMove/PICMA
センサーなし
U <120 V
PICA
センサーなし
U <1000 V
PiezoMove/PICMA
ひずみゲージセンサー搭載
PICA
ひずみゲージセンサー搭載
中程度のダイナミクス、
中程度の荷重
>> E-836
>> E-610
E-420>> E-610
>> E-625
E-420

中程度のダイナミクス、
m中程度の荷重
大量

>> E-831>> E-462--
高速スイッチング用途>> E-617
>> E-618
>> E-506
>> E-482>> E-500>> E-481
高荷重
(>100 kg)
-E-420-E-420

 

 

PICMA Stack/Chip多層アクチュエータ用ドライバーおよびコントローラー

>> PICMA多層ピエゾアクチュエータ用のピエゾアンプは最大130Vの電圧を出力可能です。
出力電流の高いアンプでは、必要な電力を抑えながらアクチュエータを動的に操作し、高精度に位置決めを行うことができます。

PICA Stack/Power/Thruアクチュエータ用ドライバーおよびコントローラー

>> PICAアクチュエータ用ピエゾアンプでは、1100 Vまでの電圧をユニポーラ電圧またはバイポーラ電圧として供給できます。出力電流の高いアンプでは、必要な電力を抑えながらアクチュエータを動的に操作し、高精度に位置決めを行うことができます。