PiezoMikeリニアアクチュエータ

最小サイズで大きな力による安定したポジショニング

最小サイズで大きな力による安定したポジショニング

  • 保持力>100 N超、送り力22 N
  • トラベルレンジ7.4~26 mm、ステップサイズ20 nm
  • 寿命>1000000000ステップ超
  • 静止状態ではセルフロッキングにより発熱なし
  • 非磁性で真空に対応した動作原理

PiezoMikeリニアアクチュエータの統合はシンプル

PiezoMikeリニアアクチュエータは従来のチップ/チルトミラーマウントやステージと簡単に統合でき、機械部品や光学機械部品の調節を自動化できます。

既存の利用環境への統合向けに取り付け用ねじまたは軸が付属します。


高い分解能と位置安定性:PiezoMikeの特性

このリニアアクチュエータのモーション分解能は通常20 nmであり、高い精度で光学部品の調整を行うことができます。さらに搭載するピエゾベースドライブは非常にコンパクトであるため、PiezoMikeはこのパフォーマンスクラスでは現時点で最小のリニアアクチュエータとなっています。

PiezoMikeリニアアクチュエータは長時間にわたって安定して位置を保持でき、耐振動性と耐衝撃性を備えています。"100 Nを超える保持力と"20 Nを超える送り力を発揮するため、「設定後は操作を行わない」用途に最適です。


PiezoMikeの動作原理

直接駆動式の>>ピエゾ慣性ドライブと同じく、PiezoMikeの駆動原理も慣性効果に基づいています。

電圧が印加されると、ピエゾアクチュエータがゆっくりと伸長します。この伸長により、爪が回転します。爪はねじを把持しているため、回転時にねじを回します。ピエゾアクチュエータは伸びが最大長に達すると素早く収縮し、爪は初期位置まで戻ります。収縮は高速であるため、爪はねじの周りを滑ることになります。しかし、ねじはその慣性質量により初期位置に留まり続けます。

このサイクルは、ねじの回転により必要なフィードフォワード出力が得られるまで、任意の回数繰り返すことができます。こうした原理から、反対方向へ動作させることも可能です。


1000000000サイクル:わかりやすい信頼性

PiezoMikeリニアアクチュエータではステップを10億回実行可能であり、20メートル分の移動を行うかまたはねじを20,000回転させることができます。弊社では、その動作期間後に初期ステップが最大で30%減少する期間を寿命として規定しています。N-470は、長期間のダウンタイム後でも確実に起動します。


推奨操作

PiezoMikeの最大制御周波数は2 kHzであり、ドライブおよび制御電子部品で熱が生じます。このため、ドライブの損傷を防ぐために、デューティサイクルおよび制御周波数の関数として推奨される操作サイクルを必ず遵守してください(示しているデータは1013  hPa超の場合のものです)。

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POS14E
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