PiezoWalkピエゾモーター

高発生力によるナノメートル精度

  • ランナー長を調整しトラベルレンジを伸縮可能
  • 最低0.03 nmの分解能
  • 静止状態ではセルフロックにより発熱なし
  • 非磁気環境および真空環境に対応した動作原理
  • OEM3種類のテクノロジーから選択可能:NEXLINE、NEXACT、PICMAWalk
  • モーターから多軸位置決めシステムまで対応した統合レベル

PiezoWalkドライブは、信頼性、位置分解能、長期安定性に対する要求が非常に厳しい半導体業界向けに10年程前に開発されました。このPiezoWalkテクノロジーにより、弊社は2005年にSEMI Technology Innovation Showcase賞を受賞しました。本ドライブの開発は現在も進められており、さまざまな用途向けに多くのバージョンをご用意しております。


ステッピングドライブの特性


柔軟性を高める3種のテクノロジー

PICMAWalk

PICMAWalkドライブは、最大50 Nの送り力と最大60 Nの保持力を発揮します。最高速度は15 mm/sです。

PICMAWalkでは、実績のあるPICMA多層ピエゾアクチュエータを採用しています。このため、ピエゾ電圧は120 Vに抑えられています。また、PICMAピエゾアクチュエータにより、PICMAWalkテクノロジーは長い寿命と優れた信頼性も実現しています。

NEXLINE

ロッドを移動させるためにピエゾクランプアクチュエータと剪断アクチュエータを組み合わせた高荷重対応ステッピングドライブです。これらのドライブは数百Nの送り力で非常に高い力と剛性を発揮します。 ナノメートルの分解能で数マイクロメートル程度の振動を動的に補償することが可能で、位置決め力と保持力は最大最大800 Nと高く設計されており、低速で動作します

NEXACT

ピエゾ屈曲素子によりステップモーションを変換する精密なステッピングドライブです。これらのドライブはコンパクト高い速度を発揮し、10~20 Nの力を発生させることができます。

用途ごとに適したピエゾ素子を選ぶことで、最適なステップサイズ、クランプ力、速度、剛性が得られます。


PiezoWalkリニアモーターの動作原理

これらのピエゾステッピングドライブは、不可欠な部品として、ガイド付きランナーの方向にプリロードがかけられたピエゾアクチュエータを複数備えています。

これらのピエゾアクチュエータが動作中にステップモーションを行い、ランナーを前方へ送ります。ピエゾアクチュエータを非常に小さなステップおよびフィードモーションを行うよう動作させることで、1ナノメートルをはるかに下回る優れたモーション分解能を実現できます。

PICMAWalk

NEXLINE、NEXACT


お問い合わせ

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特許

弊社はピエゾステッピングドライブ(PiezoWalk、NEXACT、NEXLINE)の技術分野において以下の特許または特許出願を保有しています。

DE10148267B4
EP1267478B1
EP2209202B1
EP2209203B1
US6800984B2

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Poster: PI Piezomotor Technology

Selection guide for the best solution
バージョン/日付
POS14E
ドキュメントの言語 英語