インクリメンタルセンサー

直接的および間接的位置測定向けの光学エンコーダ

トラベルレンジが大きくなると静電容量測定システムは限界に達し、センサー面が巨大化するか分解能と直線性が失われることになります。高精度ポジショニングシステムで数10ミリメートルのトラベルレンジを達成するには、位置センサーにインクリメンタルエンコーダを使用します。

間接測定

プラットフォームのモーションの間接測定機能を備えた位置センサーの構成。ほとんどの場合、センサーは、モーター軸のロータリーエンコーダなどを使用して動力伝達系に組み込みます。メリットは、センサーの取り付けが容易になることです。ただし、駆動側でのモーション測定を間接的にしか行わない場合、測定結果はバックラッシュおよび機械類のあそびの影響を受けます。

ロータリーエンコーダ

ロータリーエンコーダは、モーター軸などの動力伝達系の回転点に組み込みます。相対位置を測定する場合、コントローラーはエンコーダの信号(インパルス)を計数します。絶対位置を測定する場合は、リミットスイッチ信号またはリファレンススイッチ信号を基準として使用する必要があります。ロータリーエンコーダの一般的なステップ幅は約0.1 µmです。


直接測定

非接触式の光学リニアエンコーダでは、移動プラットフォーム上の実位置を最高の精度で直接的に測定できます(直接測定)。このため、非直線性、機械類のあそび、弾性変形などの動力伝達系で生じる誤差は加味されません。リニアエンコーダでは、ナノメートル台の分解能を達成できます。

アブソリュートエンコーダ

アブソリュートエンコーダでは、移動プラットフォームの絶対位置に関する追加情報が得られます。

タコメーター

タコメーターは、速度を測定し制御するためのものです。また、直接測定の代わりに、エンコーダの位置データの時間推移を速度制御に使用することもできます。


PIOneリニアエンコーダ:小型でピコメートルの分解能

PIOneリニアエンコーダでは特許技術を採用しており、測定ヘッドにリニアスケールに沿って移動するマッハツェンダ干渉計を搭載しています。

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