弊社では、高ダイナミクス、高分解能のナノポジショニングシステムを世界で最も幅広く取り揃えています。これらのシステムの直線性および再現性は、最高の分解能の測定装置がなくては実現できないものです。
数ナノメートル以下の精度では、この範囲のモーションを検出可能な位置測定法が求められます。適切な測定法を選ぶ上で最も重要な仕様は、直線性、分解能(感度)、安定性、帯域幅、そして費用です。また、プラットフォームのモーションを直接記録できるかどうかも重要な要素です。
可動部分への接触も測定結果に影響するため、弊社ではできる限り非接触方式の測定方法を採用しています。さらに、センサーは小型である必要があり、また発熱しないことが推奨されます。弊社ナノポジショニングシステムでは次の4種類のセンサーを使用しています。
- 静電容量センサー
- ひずみゲージセンサー(SGS)
- ピエゾ抵抗センサー(PRS)
- リニアエンコーダ
