機能と容量
PI社の数ある生産拠点では、クリーンルーム環境で製品の製造や認定を行うことができます。この機能は市場のニーズに応じて、継続的に拡張、改善されています。
それぞれの拠点のプロセスに応じて、PI社、またはパートナーは、規則に従って、各拠点で部品や製品をクリーニングし、クリーニングの結果から粒子による汚染を確認します。また、必要に応じて、ほかの種類の汚染もチェックします。
PI社は、校正済みの粒子測定装置を使用し、ISO 14644-1に従って、クリーンルームの品質を監視することができます。 また、運用条件下で自社の製品から発生する粒子の量を測定することもできます。
クリーンルームの品質を監視することができます。 また、運用条件下で自社の製品から発生する粒子の量を測定することもできます。
標準
2001年以降、クリーンルームの分類は、US FED STD 209Eではなく、ISO 14644-1に従って行われています。次の表は、これら2つの規格におけるクリーンルームの分類をまとめたものです。
Cleanroom Classification According to ISO14644-1
Particles per m³
| Class | 0.1 µm | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 1.0 µm | 5.0 µm |
|---|
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 |
Cleanroom Classification According to US FED STD 209E
5Particle per m3
| Class | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 5.0 µm |
|---|
| 100 | 26,486 | 105,994 | 3,531 | |
| 1,000 | 35,315 | 247 | ||
| 10,000 | 353,147 | 2,472 | ||
| 100,000 | 3,531,470 | 24,720 |
利用可能なクリーンルーム／超清浄な作業場
クリーンルームに加えて、PI社は、クリーンルームの内部または外部に設置できる、超清浄な作業場も所有しています。その目的は、ある処理ステップでの粒子による汚染を、その環境よりもさらに減らすことにあります。
ここでは、既存の施設および計画中の施設の概要を拠点別に説明します。
PIカールスルーエは、PIグループ最大の生産および開発拠点です。ここでは、主にピエゾベースのポジショニングシステムおよびヘキサポッドの分野に属する規格品およびカスタム製品のセットアップと性能確認が行われています。入荷検査を含むPI miCosの組み立てエリアは、ISOクラス8クリーンルームです。
さらに、PI Karlsruheには、新しく作成されたISOクラス5クリーンルームがあり、EUVアプリケーションに適用されるすべての規格も考慮されています。特殊製品フラクタルは、ISOクラス7および8に分類されるクリーンルームや、ISOクラス5の超清浄な作業場を持っています。開発部門には、ISOクラス7のラボがあります。
