ステッパ、DC、およびブラシ不要のDC (BLDC) モータの上下駆動ステージ

上下駆動ステージは、リニア ステージにアダプタなしで取り付けることができます。そして多軸ポジショニング システムの柔軟性のある組み合わせを可能にします。

A-523 PIglide High-Precision Z Tip/Tilt Stage with Air Bearings

High Performance • Cleanroom-Compatible • Low Profile
  • High performance
  • Low profile
  • Travel range in Z up to ±2.5 mm
  • Rotation range in θX, θY up to ±1°
  • Load capacity up to 8 kg

L-306 Compact Precision Z Stage

Compact Design, Multi-Axis Combinations
  • Travel range: 13 mm
  • Max. payload: 2 kg
  • Bidirectional repeatability: to 1 µm
  • Max. velocity: 5 mm/s

L-310 Precision Z Stage

Compact Multi-Axis Combinations with Linear and Rotation Stages