ステッパ、DC、およびブラシ不要のDC (BLDC) モータの上下駆動ステージ

ステッパ、DC、およびブラシ不要のDC (BLDC) モータの上下駆動ステージ

上下駆動ステージは、リニア ステージにアダプタなしで取り付けることができます。そして多軸ポジショニング システムの柔軟性のある組み合わせを可能にします。

A-523 PIglide High-Precision Z Tip/Tilt Stage with Air Bearings

High Performance • Cleanroom-Compatible • Low Profile
  • Rotation range θX/θY: to 2°
  • Max. payload: 8 kg
  • Bidirectional repeatability θX/θY: 8 µrad

L-306 Compact Precision Z Stage

Compact Design, Multi-Axis Combinations
  • Travel range: 13 mm
  • Max. payload: 2 kg
  • Bidirectional repeatability: to 1 µm
  • Max. velocity: 5 mm/s

L-310 Precision Z stage

Compact Multi-Axis Combinations with Linear and Rotation Stages
  • Travel range: 26 mm
  • Max. load capacity: to 10 kg
  • Bidirectional repeatability: to 0.4 µm
  • Max. velocity: to 50 mm/s