典型的な仕様は以下のとおりです。
直線: 真直度/平坦度0.1µm/25mm、ピッチング/ヨーイング0.5秒角/25mm
回転: 半径方向/軸方向のぶれ0.1µm、ウォブル<1秒角未満
通常、トラベルレンジ全体の総モーション誤差は「マイクロTIR」で表記します。TIRとは、読みの最大差(Total Indicator Reading)のことです。TIRは、モーション誤差の測定値の較差を表します。弊社では、ゼロ基準を中心とした対称性は想定していません。エアベアリングステージでは、一般に、200 mmの移動ごとに1 μm TIR以上の平坦度と真直度が得られます。