ピエゾフレクシャ チルトミラー

ピエゾフレクシャミラープラットフォームの高い剛性により、ハイダイナミクスと優れた位置決め安定性が実現します。このコンパクトなデバイスは、レーザー加工やレーザーステアリングにおけるビームの偏向に広く使用されています。パラレルキネマティック設計であるため、共通の回転中心が固定されて偏光方向に変化がなく、チップ軸とチルト軸で同じ性能を発揮します。