リードネジでは、非常に高い分解能と非常にスムーズなモーションを実現できます。リードネジは、モーター駆動式のネジと、ステージのソリに結合されたナットで構成されています。このナットにスプリングでプリロードをかけることで、バックラッシュを抑えられます。このネジは循環ボールネジに比べ摩擦が大きいためセルフロック式となっていますが、一方でこの摩擦が速度、モーター出力、寿命に影響を及ぼします。典型的なリードネジのピッチは1回転あたり0.4~0.5 mmであり、より長いトラベルレンジでは1回転あたり1 mmとなります。