エアベアリングとステージ

エアベアリングステージは、無振動のモーションが必要なとき、優れた速度安定性が必要であるとき、そして、最適な角度再現性が要求されるときに使用されています。

エアベアリングにより、摩擦、摩耗、バックラッシュの影響がなくなります。PIglideのリニア、回転、球状ベアリングは精密コンポーネントであり、OEM、産業市場、研究市場におけるアプリケーションに組み込み、モーター駆動化することが可能です。

エアベアリング内蔵リニアステージ

A-143 PIglide小型リニアエアベアリングステージ

高性能 • クリーンルームに対応 • 垂直取り付けオプション
  • モーションプラットフォームのサイズ 85 mm × 75 mm
  • 薄型 40 mm
  • トラベルレンジ 25 mm
  • 耐荷重 4 kg
  • 速度 最大390 mm/s
  • 加速度 最大10 m/s2

A-142 PIglideボイスコイルリニアステージ、エアベアリング付き

高性能 • クリーンルームに対応 • 垂直取り付けオプション
  • High performance
  • Possible vertical mounting
  • Motion platform 75mm × 80mm
  • Travel ranges up to 10mm
  • Acceleration up to 20 m/s

A-131 PIglide VC Voice Coil Linear Stage with Air Bearings

High-Performance Miniature Nanopositioning System
  • Miniature nanopositioning system
  • Clean room compatible
  • Travel ranges up to 25mm
  • Load capacity up to 30N
  • Acceleration up to 40m/s

A-110 PIglide LC Linear Stage with Air Bearings

Inexpensive High Performance Nanopositioning Stage
  • High precision positioning
  • Inexpensive & clean room compatible
  • Motion platform 160mm × 200mm
  • Travel ranges up to 400mm
  • Load capacity up to 100N

A-141 PIglide MB Miniature Linear Stage with Air Bearings

High Performance, Cleanroom Compatible, Customizable
  • High performance
  • Clean room compatible
  • Motion platform 57mm × 93mm
  • Travel ranges up to 35mm
  • Acceleration up to 3,5m/s

A-123 PIglide AT3 Linear Stage with Air Bearings

High Performance Nanopositioning Stage
  • High performance nanopositioning stage
  • Clean room compatible
  • Motion platform 210mm × 210mm
  • Travel ranges 50mm to 750mm
  • Resolution up to 1 nm

A-121 PIglide AT1 Linear Stage with Air Bearings

High Performance Small Footprint Nanopositioning Stage
  • High performance nanopositioning stage
  • small design
  • Motion platform 115mm × 115mm
  • Travel ranges up to 350mm
  • Resolution up to 1nm

エアベアリング内蔵XYステージ

A-311 PIglide ISプラナースキャナ(エアベアリング付き)

高性能でコンパクトなXYナノポジショニングシステム
  • スキャニング用途や高精度位置決めに最適
  • クリーンルームに対応
  • トラベルレンジ300 mm × 400 mm
  • 耐荷重最大147 N
  • 薄型
  • 最大分解能 1 nm

A-351 MGS Gantry System with Linear Motors

Robust Compact Design with Recirculating Ball Bearing Guides for High Load Capacity.

A-341 PIglide HGS Hybrid Gantry System

Hybrid Guide Design with Air Bearings and Recirculating Ball Bearing Guides for High Precision with Low Profile.

A-322 PIglide HS Planar Scanner with Air Bearing

XY Positioning System with 1 nm Resolution
  • XY air bearing stage, planar, high performance, travel to 1 m, linear motors, absolute encoder, nanometer precision. For high accuracy automation &amp
  • metrology.





テクノロジー