10~15 kmを超えるならし運転期間後も、本ドライブのステップサイズは非常に安定しています。この安定したステップサイズに、ドライブの負荷容量と耐久性の高さが表れています
- ランナー長を調整しトラベルレンジを伸縮可能
- 最低0.03 nmの分解能
- 静止状態ではセルフロックにより発熱なし
- 非磁気環境および真空環境に対応した動作原理
- OEM3種類のテクノロジーから選択可能:NEXLINE、NEXACT、PICMAWalk
- モーターから多軸位置決めシステムまで対応した統合レベル
PiezoWalkドライブは、信頼性、位置分解能、長期安定性に対する要求が非常に厳しい半導体業界向けに10年程前に開発されました。このPiezoWalkテクノロジーにより、弊社は2005年にSEMI Technology Innovation Showcase賞を受賞しました。本ドライブの開発は現在も進められており、さまざまな用途向けに多くのバージョンをご用意しております。