磁気ベアリング

エアベアリングソリューションと磁気リニアモーターは、現時点では半導体業界の検査および製造システムにおける最新技術です。ただし、ナノメートル精度の実現や真空あるいは窒素雰囲気中での用途に関する要件が増大しているため、こうしたシステムではすでに限界が見えています。

高精度の磁気ダイレクトドライブは機械部品の使用を大幅に抑えているため、摩擦とバックラッシュを低減しながら精度を向上させる新たな展望を実現します。

6次元センサーにより6軸モーションを制御します。このセンサーの基準面は、電力や外部接続を必要としないパッシブ部品である磁気浮上プラットフォーム下の中心に配置されています。

磁気浮揚では、パッシブロッドを磁界上で浮揚させ磁界によりアクティブに誘導するため、平面内の直線方向と回転方向の両方において優れたガイド精度が得られます。シーケンスの誤差は高精度の非接触センサーにより測定され、補正されます。エアベアリングも精度は非常に優れていますが、磁気ベアリングは真空での使用にも対応しています。

高精度位置決めシステムの新たな展望であるPIMag6-Dは、磁気ドライブと6次元センサーを備えた平面位置決めシステムの試験モデルです。本システムでは、6つのモーション軸方向すべてにおいて目標経路からの偏差を検出し、補正できます。