XYピエゾ フレクシャ ステージ

高精度2軸ナノポジショニングシステムでは、PICMA®ピエゾアクチュエータを採用し最高の信頼性を実現しています。同時に、高品質なナノ計測センサーを用いることにより、再現性と高い安定性を備えたドリフトフリーな位置決めが可能となります。

スキャンおよび追跡のプロセスには、低荷重対応の2軸ピエゾスキャナーが広く使用されています。こうしたスキャナーの高速なステップ&整定モーションによって、光学系の分解能が向上します。用途の例としては、カメラ技術での画像処理、バイオメトリクスや文書アーカイブ化向けの画像認識などがあります。