レバー増幅機構により数ミリメートルのトラベルレンジを実現
ピエゾ積層アクチュエータの変位は一般に数十マイクロメートルまでであり、最大でも数百 マイクロメートルです。フレクシャガイドは設計により、機械式レバーのように動作させることも可能です。この設計によりピエゾアクチュエータの変位を増幅し、必要に応じて別の方向へ誘導することができます。
レバー増幅システムの設計は極めて困難です。一方では横方向への移動を防ぐことが求められますが、また一方ではレバーは常に支点を介して誘導を行うにもかかわらず、変位を必ずまっすぐに誘導しなければなりません。
さらに、トラベルレンジを増やすと剛性が犠牲になります。フレクシャガイドの設計により、別のガイドをさらに統合する必要性をなくすことができます。 フレクシャジョイントはガイドレバー式システムのほか、高度に統合されたピエゾシステムにも採用されています。
PiezoMove OEM向けガイド内蔵レバーアクチュエータ
PiezoMoveアクチュエータはモーションのガイドと最長1mmのトラベルレンジを両立しており、最大10ナノメートルの精度を実現するオプションセンサーも利用可能です。高精度、無摩擦のフレクシャガイドにより高い剛性 を実現するとともに、横方向の変位は極めて小さく抑えられています。
これにより、非常にコンパクトなサイズを保ったまま、単純なピエゾアクチュエータよりも取り扱いやすくなっています。剛性および発生力の大きさは、使用するピエゾアクチュエータの数とサイズで決まります。その特長、サイズの小ささ、およびコスト効率に優れたデザインから、PiezoMoveレバーアクチュエータはOEM用途に特に適しています。
積層アクチュエータから6軸ポジショニングシステムまで
PI社では、さまざまな統合レベルのピエゾアクチュエータを提供しています。ナノポジショニングセンサーが統合された単軸ステージのシンプルな駆動コンポーネントから、デジタル制御機能が付いた複雑な多軸ポジショニングステージまで取り揃えています。
積層アクチュエータ | レバー増幅機構付きアクチュエータ | ポジショニングシステム | |
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トラベルレンジ | 最大1 µm程度 | ~1 mm | ~1 mm |
移動軸数 | 1 | 1 | 最大で直線軸3本、チップ/チルト軸3本 |
センサー技術 | SGS (オプション) | SGS (オプション) | SGSまたは直接測定 |
直線性 | 最大99.8 % | 最大99.8 % | 99.9 %超 |
ガイド | なし | 傾斜角<10°未満のフレクシャジョイント | 傾斜角<2°未満のフレクシャジョイント |
スペース要件 | 低 | 低 | 構成ごとに異なる |
価格 | 低 | 低 | 構成ごとに異なる |
統合の手間 | 平均的 | 小 | 小 |