設置スペースが限られている場合、位置決め作業には小型ステージが不可欠です。Q-motion、PIline®、PiezoWalk®のようなピエゾモーターはダイレクトドライブを採用しているため、コンパクトなステージにも対応可能です。
弊社の電磁モーターには、世界中のオートメーション作業で使用されている実績があります。カスタマイズをご希望の方はお問い合わせください。
2相慣性駆動式の小型リニアステージで、ナノメートル単位の正確な位置決めと長期的な安定性を実現