PICAピエゾ積層アクチュエータ

ピエゾアクチュエータの標準的な接続点は100 mm撚線またははんだ付け点です。それぞれのピエゾ素子では、AWG規格に適合した各種ワイヤーを使用しています。各製品のはんだ付け手順を遵守してください。

PIセラミックでは標準寸法のチップおよびベースを取りそろえ、納品前に取り付けています。末端部は金属、セラミック、ガラス、またはサファイアを使用し、薄型または球状にすることが可能です。ご要望に応じて、用途に適した末端部を製作できます。

ピエゾアクチュエータには変位測定用の位置センサーを搭載でき、ナノメートルの精度で再現性のある位置決めを行うことが可能です。PIセラミックでは、ピエゾセラミックに接着した金属箔によるひずみゲージセンサー(SGS)を使用しています。

ピエゾアクチュエータはすべて、10^-10 mbarまでの超高真空環境に対応させることが可能です。こうしたアクチュエータの耐熱温度は100°Cを超え、適切な撚線も取り付けることができます。磁界内で動作するように、使用するセラミック材料および金属は電気接点に合わせて選択いたします。

"PIセラミックでは、お客様の製品へのピエゾセラミック部品の組み込みを行っています。お客様の要件に応じての素子の電気接続加工およびお客様が用意された部品の取り付けや、ピエゾセラミック部品の接着、鋳造などに対応しています。

酸化アルミニウム製の末端部は、アクチュエータに適した熱膨張係数となっています。このため、アクチュエータに掛かる熱機械的負荷を大きく低減できます。