直接測定による最高レベルの精度
静電容量センサーを高精度位置決めシステムに適切に配置することで、ベース本体に対する移動パーツの実位置を直接的に測定できます(直接測定)。測定結果に動力伝達系、アクチュエータ、レバーアーム、ガイドシステムの誤差が影響することはありません。このため、動力伝達系でドリフトやヒステリシスが発生しても自動的に排除されます。
位置制御ピエゾナノポジショニングシステムでは、外部誤差がセンサーにより瞬時に検出されフィードバックされるため、傑出したモーションの直線性、高い長期安定性、厳密で応答性に優れた位置サーボループを実現しています。
線形化による信号処理
処理素子および測定素子の発するノイズは最小限に抑えられており、またコンデンサー板間の平行度の誤差の影響を補正する線形化システム(ILS)を採用しています。
デジタルコントローラーは、より高次の多項式による別の線形化アルゴリズムで最高レベルの精度を実現します。
システムはすべて弊社で較正を行っており、目的の帯域幅と測定範囲に合わせて最適化されています。弊社では、アナログOEMバージョンからいつでも拡張可能なモジュール式のデジタルコントローラーシステムまで、静電容量センサー用の信号処理素子をさまざまな構成レベルで提供しています。
ひずみゲージセンサーによる間接位置測定(SGS)
ひずみゲージセンサーは、薄い金属膜または半導体膜(ピエゾ抵抗体)をピエゾセラミックに、または精度を高める場合にはフレクシャステージのガイドシステムに取り付けて構成されています。この種の位置測定は、レバー、ガイド、またはピエゾスタックの測定結果から移動プラットフォームの位置を導出するため、接触方式と間接方式の両方で行います。ひずみゲージセンサーでは、その伸長度合いから位置情報を求めます。1本の軸にひずみゲージセンサーを複数搭載したフルブリッジ回路では、熱安定性が改善されます。
PISeca:静電容量単極センサー
PISeca:静電容量単極センサー
単極静電容量センサーであるPISecaはあらゆる種類の導電面の測定を行うことができ、設置やケーブル配線時などの機械的な取扱いも容易です。利用方法も多様であり、たとえば測定方向と垂直な向きのモーションを検出できます。
PISeca用のスタンドアロン処理電子装置であるE-852のノイズはわずかであり、線形化システムが組み込まれています。システムはすべて弊社で較正を行っており、目的の帯域幅と測定範囲に合わせて最適化されています。
>> PISecaセンサーと対応する処理電子装置は、弊社製品として提供されています。