小型 ヘキサポッド

6自由度のモーションに対応した最小のデバイスはQ-motionピエゾモーターステージで構成されていますが、ブラシレス直流モーターヘキサポッドによる手のひらサイズのステージもご用意しております。

キネマティック設計は、用途における各軸方向のモーションの重要性に応じて行われます。標準的である、パラレルキネマティックなヘキサポッド型デザインでは、全体的な性能が最も均一となります。比較的大きな直線モーションが必要な場合は、薄型デザインが推奨されます。

超高真空環境や非磁性環境には、PI社の特許取得済みドライブ技術であるPICMA®またはPiezoWalk®を採用したヘキサポッドが最適です。

H-811.S2 小型ヘキサポッド

高速かつコンパクトな設計で、高ダイナミクス用途に対応
  • CIPA認証済み
  • トラベルレンジ:±17 mm / ±16 mm / ±6.5 mm
  • 回転レンジ:±10° / ±10° / ±21°
  • 0.1°の回転レンジで最大30 Hzのダイナミクスを実現

H-811.I2 小型ヘキサポッド

高速、コンパクト、高精度
  • トラベルレンジ:最大±17 mm / ±21°
  • 最大耐荷重:5 kg
  • 再現性:最大±0.06 µm
  • 最大速度:20 mm/s
  • 真空対応モデルもご用意しています

H-811.F2 小型ヘキサポッド

Ideal for Fiber Alignment
  • Brushless DC motor
  • Incremental Rotation encoder
  • Very compact and robust
  • MiM 0.2/0.2/0.08µm

H-810.I2 小型ヘキサポッド

High Precision in the Smallest Space
  • Range 20/20/6.5mm
  • Rotation range 10/10/30°
  • MiM 0.5/0.5/0.25µm
  • Load capacity 3kg