小型 ヘキサポッド

6自由度のモーションに対応した最小のデバイスはQ-motionピエゾモーターステージで構成されていますが、ブラシレス直流モーターヘキサポッドによる手のひらサイズのステージもご用意しております。

キネマティック設計は、用途における各軸方向のモーションの重要性に応じて行われます。標準的である、パラレルキネマティックなヘキサポッド型デザインでは、全体的な性能が最も均一となります。比較的大きな直線モーションが必要な場合は、薄型デザインが推奨されます。

超高真空環境や非磁性環境には、PI社の特許取得済みドライブ技術であるPICMA®またはPiezoWalk®を採用したヘキサポッドが最適です。

H-811.S2 小型ヘキサポッド

高速かつコンパクトな設計で、高ダイナミクス用途に対応
  • トラベルレンジ X/Y/Z: ±17 mm / ±16 mm / ±6.5 mm
  • 回転レンジ θX/θY/θZ: ±10° / ±10° / ±21°
  • 一方向再現性 X/Y/Z: ±0.5 μm / ±0.5 μm / ±0.2 μm
  • 最大ペイロード(水平方向/任意方向): 2.5 kg / 0.9 kg
  • 最大速度 X/Y/Z: 25 mm/s

H-811.I2 • H-811.I2HS 小型ヘキサポッド

高速、コンパクト、高精度
  • トラベルレンジ X/Y/Z: ±17 mm / ±16 mm / ±6.5 mm
  • 回転レンジ θX/θY/θZ: ±10° / ±10° / ±21°
  • 一方向再現性 X/Y/Z: ±0.15 μm / ±0.15 μm / ±0.06 μm
  • 最大ペイロード(水平方向/任意方向): 5 kg / 2.5 kg
  • 最大速度 X/Y/Z: 20 mm/s

H-811.F2 小型ヘキサポッド

ファイバーアライメントに最適
  • トラベルレンジ X/Y/Z: ±17 mm / ±16 mm / ±6.5 mm
  • 回転レンジ θX/θY/θZ: ±10° / ±10° / ±21°
  • 一方向再現性 X/Y/Z: ±0.15 μm / ±0.15 μm / ±0.06 μm
  • 最大ペイロード(水平方向/任意方向): 5 kg / 2.5 kg
  • 最大速度 X/Y/Z: 20 mm/s

H-810.I2 小型ヘキサポッド

最小限のスペースで高精度を実現
  • トラベルレンジ X/Y/Z: ±20 mm / ±20 mm / ±6.5 mm
  • 回転レンジ θX/θY/θZ: ±10° / ±10° / ±30°
  • 一方向再現性 X/Y/Z: ±0.03 μm / ±0.03 μm / ±0.08 μm
  • 最大ペイロード(水平方向/任意方向): 3 kg / 1.5 kg
  • 最大速度 X/Y/Z: 6 mm/s