オートメーション技術のナノポジショニングシステム：EtherCAT®を備えたデジタルピエゾコントローラ

産業オートメーションのピエゾベースのナノポジショニングシステム用のEtherCAT®を備えたデジタルマルチチャンネルピエゾコントローラー（出典：PI社）

現在、デジタルコントローラは、ACS Motion ControlからEtherCATを介してすべての産業用モーションコントローラーで操作できるため、2軸または3軸ピエゾベースのナノポジショニングシステムの「インテリジェントドライバー」としてオートメーション環境に統合できます。静電容量式、ピエゾ抵抗式、またはひずみゲージ式センサーを使用します。
ピエゾ動作用に最適化された2つのノッチフィルターを備えたP-Iコントローラにより、高制御帯域幅（20 kHz）が可能になります。インテリジェントサーボアルゴリズムにより整定時間が最小限に抑えられ、サブナノメートルの範囲で再現性が得られます。デジタルコントローラのさらなるハイライトには、メカニクスと電子機器の4次多項式線形化、統合データレコーダー、システムコンポーネントの高速かつ迅速な交換のためのIDチップ、および下位のプログラム可能なドリフト補償が含まれます。さらに、動的デジタル線形化のオプションがあります。このDDL関数は、動的周期アプリケーションの場合、位相シフトと軌道エラーを識別できないレベルまで低下させます。これは、特定の位置を特定し、再び正確に到達する必要があるスキャンアプリケーションにとって重要です。

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E-727.xFデジタルマルチチャンネルピエゾコントローラ　ETherCAT実装

PI社について

PI (Physik Instrumente)社は製品が高品質なことで知られており、長年にわたって世界的な高精度ポジショニング技術の市場において中心的な役割を担っています。40年にわたり、ピエゾドライブやモータードライブを使用した標準製品やOEM製品の開発、製造を行っています。多軸高精度駆動システム向けに世界的にトップレベルのモジュール式モーションコントローラーの開発、製造を行っているACS Motion Control社の主要株主となることで、当社は非常に高い精度やダイナミクスが求められる業界用途に対応した完全なシステムの実現に向けて大きな一歩を踏み出しました。PIグループはドイツ国内の4か所に加えて、世界各地で販売サービスを手がける15の子会社で構成されています。