リニアエンコーダ内蔵ボイスコイル

磁気ダイレクトドライブは、特に摩耗、ダイナミクスの点で、従来のモータ駆動のスピンドルベースと比較してメリットがあります。ダイレクトドライブには、動力伝達用の可動部品がほとんどなく、摩耗や遊びが少なく為、より精度を上げることができます。

同時に、コストが低減し、エネルギー効率が高まります。さらに、優れた特徴としては、比較的長いトレベルレンジ、高速度、長寿命が挙げられます。産業用高速スキャニング用リニアステージの向けに、ドライブテクノロジーと位置決めシステムのソリューションプロバイダーとしてPI(Physik Instrumente)社は、磁気ダイレクトドライブを利用します。

PIMag® V-522、V-524、V-528は、極めてコンパクトなリニアステージで、最大速度は250 mm/sec、スキャン周波数は 数10 Hzになります。この摩擦フリーのステージは、トラベルレンジが　5, 10, 20 mmで、特に、計測、フォトニクス、画像安定化システム、半導体やフラットモニターの検査など、24時間365日の運用が必要な産業および研究用途に最適です。

クロスローラガイドを使用することにより、このリニアステージは、1μmの精度を実現しました。　ケージクリーピングも防止されます（アンチクリープ）。リニアステージは、電源ケーブルとエンコーダー信号ケーブルが含まれた1つのケーブルで、コントローラに接続されます。これにより、お客様のシステムに簡単かつ省スペースで組み込むことが出来ます。内蔵された光学系リニアエンコーダによって、信頼性の高い位置制御と±500nmの位置再現性が可能となります。

センサー分解能は10 nm以下で、最小インクリメンタルモーションは20nmです。ボイスコイルダイレクトドライブシリーズは、トラベルレンジが5、10、20　mmであり、幅はたった80mmで高さは26mmです。必要に応じて、スペーサープレートを使用せずに、リニアステージを多軸システムに組み合わせることもできます。PIMag®標準リニアステージを利用して、PI社は、一軸および多軸のソリューションをカスタマイズして提供することができ、発生力、精度、設置面積の点で確実に用途に合わせることができます。

データシート: V-522 • V-524 • V-528 ハイダイナミクスPIMag® リニアステージ