圧電マイクロポンプ

コンパクト設計で高パフォーマンス

マイクロダイヤフラムポンプは、連続的なフローや流量の調整をすることができるコンパクトなドライブです。 1サイクル当たりの体積が小さい為、大きな流量を得るためには、数10kHzのサイクルで動作させる必要があります。 ディスク型ピエゾアクチュエータは、ダイヤフラムに直接取り付け、これを変形することができます。 ダイヤフラムやピストンを直接圧電アクチュエータに結合させることにより、大きな変位や力を達成することができます

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