Hexapods Help to Improve Precision and Speed in the Analysis of Aspherical Lenses

非球面レンズには光学軸に回転対称の光学部品が備わっており、その屈曲の範囲は中央からの距離によって放射状に変わります。これにより、光学システムの高画質化が実現し、それにより必要な素子数が減り、コストや重量の削減にもつながります。しかし、メーカにとって、この種のレンズの品質を意味する「非球面形状の精度」を検査することは、かなりの困難を伴います。それは,測定とセットアップ時間を短くする一方で,形状の微小偏差をナノメートル範囲で測定する必要があるからです。

New Approach: Tilted Wavefront Technology

For this reason, the metrology company >> Mahr developed a new instrument for precise, fast, flexible measuring of different aspheres directly on the production line, without CGH, classical stitching, or tactile contacting. 測定に数分かかる既存のシステムとは対照的に、この傾斜波面干渉計ではたった20~30秒で全面測定が可能です。 前のテスト対象物を評価している間に、次のテスト対象物を測定できます。干渉計の設計は、個々の表面形状に対し、横方向の高分解能と不確実性を50nm以下に抑えた測定を可能にします。

この 干渉計も他の測定器と同様に参照され校正される必要があります。このために、高精度で既知の幾何学的形状に製造された球体を、測定物対象のさまざまな位置に移動させます。校正球の横方向の位置誤差は補正アルゴリズムに影響するため、校正球は空間に正確に配置し、測定中はその位置を安定させる必要があります。この校正プロセスは、測定ボリューム全体をカバーする必要があるため、あらゆる位置で行われます。

Positioning of Calibration Sphere and Test Object in Several Degrees of Freedom

干渉計の位置決めタスクに対する高い要求に応えるために、PIは6軸パラレルキネマティックヘキサポッドでMahr社をサポートしています。これらは、校正球とテスト対象物を複数の自由度で正確に配置するために使用され、形状精度の光学的分析の向上を可能にします。

非球面レンズの位置決め用ヘキサポッドとパラレルキネマティクスの技術について詳しく見る

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