非球面レンズの解析の精度と速度を向上させるヘキサポッド

非球面レンズには光学軸に回転対称の光学部品が備わっており、その屈曲の範囲は中央からの距離によって放射状に変わります。これにより、光学システムの高画質化が実現し、それにより必要な素子数が減り、コストや重量の削減にもつながります。しかし、メーカにとって、この種のレンズの品質を意味する「非球面形状の精度」を検査することは、かなりの困難を伴います。それは,測定とセットアップ時間を短くする一方で,形状の微小偏差をナノメートル範囲で測定する必要があるからです。

この 干渉計も他の測定器と同様に参照され校正される必要があります。このために、高精度で既知の幾何学的形状に製造された球体を、測定物対象のさまざまな位置に移動させます。校正球の横方向の位置誤差は補正アルゴリズムに影響するため、校正球は空間に正確に配置し、測定中はその位置を安定させる必要があります。この校正プロセスは、測定ボリューム全体をカバーする必要があるため、あらゆる位置で行われます。