ダイナミックなマイクロポンプとドージング技術のためのピエゾ素子とアクチュエータ

マイクロダイヤフラムポンプには、連続した流れと可変の流量を提供できるコンパクトなドライブが必要です。ポンプの1サイクルあたりの体積が小さいため、大流量を得るためにはkHz帯までの高いサイクルレートが必要となります。

マイクロダイヤフラムポンプは、バルブユニットとポンプダイアフラムで構成されており、ピエゾ式アクチュエータと合わせてポンプ駆動部を形成しています。

分配量は、ミリリットル、マイクロリットル、ナノリットルからピコリットルの範囲です。

圧電マイクロポンプの応用分野は、微量の液体や気体を確実に計量することが求められる実験技術、医療技術、バイオテクノロジ、化学分析、プロセス技術などです。

マイクロダイヤフラムポンプとマイクロメータリングバルブ

ディスク状のピエゾアクチュエータを直接ダイヤフラムに取り付けて、ダイヤフラムをたわませることができます。ダイヤフラムやピストンを直接ピエゾアクチュエータに連結することで、より大きなストロークや力を得ることができます。ピエゾ素子は、そのコンパクトなサイズと必要なエネルギ量の少なさから、ラボオンチップのアプリケーションにも適しています。

ピエゾドライブはバルブの開閉にも使用されています。ピエゾ製品は、ダイヤフラムバルブ用のシンプルなピエゾ素子やベンディングアクチュエータから、大きな動力や力を必要とするプリロードピエゾスタックアクチュエータ、そして高い背圧でも非常に繊細な計量を行うピエゾレバーまで、幅広いラインナップを揃えています。

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