コントローラ & ソフトウェア

すばやい整定、極めてスムーズな低速動作、高い位置安定性、高分解能、ハイダイナミクス動作とピエゾシステムへの要求事項は様々なため、そのドライバ 制御系には幅広い自由度が求められます。