フレクシャジョイントによる優れたガイド精度

ナノポジショニング技術において、フレクシャガイドは最大数ミリメートルの位置決めに適していることが示されています。フレクシャジョイントのモーションは、固体の弾性変形に基づいています。このため、静止摩擦、回転摩擦、すべり摩擦が抑えられています。

フレクシャ構造には、剛性が高く、負荷容量が大きく、耐摩耗性が優れているという利点があります。メンテナンス不要であるとともに非磁性体で製造可能であり、潤滑剤や消耗品が不要であるため真空環境でも問題なく動作します。

レバー機構を組み込むことにより、ピエゾアクチュエータのトラベルレンジを増大させることも可能です。アクチュエータをフレクシャジョイントへ機械的に組み込むことで、トラベルレンジは最大で2 mmまで増加します。ただし、単純なレバー構造ではガイド精度と剛性が大きく損なわれてしまうため、非常に複雑な形状を設計する必要があります。

フレクシャガイド一体型ピエゾステージでは、わずか数ナノメートルまたはマイクロラジアンのガイド精度と優れた平坦度を実現

フレクシャ機構により、極めて経路精度の高いモーションが可能になります。高さまたは横方向のオフセットを補正するため、弊社では専用のマルチリンクフレクシャガイドを開発しました。これらのガイドシステムは、弊社製ナノポジショニングシステムの大部分に使用されており、サブナノメートル台またはマイクロラジアン台の平坦度と真直度を実現します。