PICMA® / PICA | PiezoWalk® | PILine® | Q-Motion® | PiezoMike | |
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原理 | ピエゾ | ステッピング | 超音波 | 慣性 | 慣性 |
分解能 | nm以下 | nm以下 | µm以下 | nm以下 | 20 nm |
速度 | - | ~10 mm/s | 最大数百mm/s | 10 mm/s以上 | 0.2 mm/s程度 |
応答時間は数µsの範囲 | ハイダイナミクススキャンモード | 無音(動作周波数が非常に高い) | 無音(動作周波数が非常に高い) | 高い安定性 | |
トラベルレンジ | 直接的には最大300 µm程度、レバー増幅機構使用時には2 mm | ランナーの長さでのみ制限 | ランナーの長さでのみ制限 | ランナーの長さでのみ制限 | ~50 mm程度 |
力 | 最大100 kN | 最大800 N (NEXLINE®) | ~40 N | ~10 N>>保持力 | 100 N、お送り力, >20 N |
高剛性 | 静止状態ではセルフロッキング | 静止状態ではセルフロッキング | 静止状態ではセルフロッキング | 静止状態ではセルフロッキング | |
マルチアクチュエータドライブによりステッピングモーションを発生 | シングルアクチュエータドライブ | シングルアクチュエータドライブ | シングルアクチュエータドライブ | ||
制御モード | アナログ電圧 | - | 高周波交流電圧(正弦波) | 高周波交流電圧(変形ノコギリ波) | 高周波交流電圧(変形ノコギリ波) |
電圧範囲 | 150 V (PICMA®)、1100 V (PICA®) | 55 V (NEXACT®)、500 V (NEXLINE®) | 120 V、200 V、ミニモーターの場合極めて低い | <48 V | ~100 V |
適した用途 | 高ダイナミクスでのnm精度のポジショニング | nm精度のポジショニング | µm以下の精度のポジショニング | nm精度で長期間安定したポジショニング | 長期間安定したポジショニング |
レバー増幅機構およびガイド付きシステム | 保持力の高い準静的な用途 | 高速ステップ&整定 | 保持力の高い準静的な用途 | 超高真空環境 | |
ピエゾスキャナー | 最大数mmのトラベルレンジ | 高速スキャンモード | |||
微調整 | 粗調整および微調整 | 一定の低速度での動作 | |||
力発生 | 力発生 | ||||
アクティブ防振 | アクティブ防振 | ||||
一定の低速度での動作 |