直接的および間接的位置測定向けの光学エンコーダ
トラベルレンジが大きくなると静電容量測定システムは限界に達し、センサー面が巨大化するか分解能と直線性が失われることになります。高精度ポジショニングシステムで数10ミリメートルのトラベルレンジを達成するには、位置センサーにインクリメンタルエンコーダを使用します。
直接測定
非接触式の光学リニアエンコーダでは、移動プラットフォーム上の実位置を最高の精度で直接的に測定できます(直接測定)。このため、非直線性、機械類のあそび、弾性変形などの動力伝達系で生じる誤差は加味されません。リニアエンコーダでは、ナノメートル台の分解能を達成できます。