IDチップ
インクリメンタルエンコーダー
入力レベル
入力電圧範囲
内蔵ポジションセンサー

IDチップは、多くの圧電ステージのコネクタにあります。工場でデジタルコントローラーを使用してステージをキャリブレーションすると、キャリブレーションデータが特定の製品情報とともにIDチップに保存されます。スイッチを入れると、デジタルコントローラは接続されたステージのIDチップからデータを読み取ります。したがって、IDチップに較正データが含まれているステージは、較正を更新しなくても適切なデジタルエレクトロニクスに接続できます。

インクリメンタルエンコーダーが動いている場合、コントローラによってカウントされるインパルスが生成されます。ただしアブソリュートエンコーダとは対照的に、相対位置を決定することは問題です。絶対位置を決定するには、リミットスイッチまたは基準スイッチ信号も参照する必要があります。

デジタルインターフェースの許容可能な入力レベル。

ピエゾコントローラおよびドライバ用 推奨範囲は-2〜12 Vです。通常のゲイン値10では、出力範囲は-20〜120 Vになります。PI社製コントローラの多くは、-3〜13 Vの入力範囲が可能です。

絶対測定静電容量式、ピエゾ抵抗式（PRS）またはひずみゲージ式（SGS）、および光学式（絶対および相対）センサーを使用して、コントローラに位置情報を提供します。