1つのガイドに2つの移動プレートを個別に搭載した小型リニア並進ステージ
小型ヘキサポッド(最大荷重35 kg)
小型設計、サブナノメートルの分解能のPIFOC®ノーズピースナノポジショナー
200 kgの荷重に対応し海抜5000 mの高度でも使用可能な防水ヘキサポッド
カバーのないオープン設計とコンポーネントの慎重な選択により10-6 hPaまでの真空環境に対応可能なリニアステージ
カスタマイズされた形状のボイスコイルリニアステージ
最大±100 µradのトラベルレンジに対応した動的チップ/チルトミラー(ΘXΘY)
過熱保護が一体化され、高周波数で使用可能なプリロード付きピエゾアクチュエータ
顕微鏡向けシステムソリューション:NEXACT®ピエゾステッピングドライブ駆動のPIFOC®および6軸マイクロロボット
大開口部を備えた7軸構成:ヘキサポッドによりモーションプラットフォームと回転ステージを一体化
250 kgの荷重に対応し800 mm Øの開口部を備えた高耐荷重ヘキサポッド
ベースプレートに大開口部を備え、30 kgまでの荷重に対応したヘキサポッド
振動生成用コンパクトピエゾアクチュエータ
10-7 hPaまでの超高真空環境で、長レンジのリニアステージ上部に6軸薄型設計のパラレルキネマティックSpaceFABを配置
超高真空対応小型ピエゾヘキサポッド。強磁界でも高精度で位置決め
ハイダイナミクスとナノメートルの分解能を実現した重量物用PIFOC®対物スキャナー
高速度対応磁気ダイレクトドライブハイダイナミクスヘキサポッド
微調整およびアクティブ&ダイナミックエラー補正に対応したピエゾヘキサポッド
半導体業界のウェーハアライメント向けNEXLINE® Z/チップ/チルトプラットフォーム
動作温度範囲-10~25℃の真空対応ヘキサポッド
最大1トンの荷重を精密に位置決め可能な真空対応高荷重ヘキサポッド
積層XZステージ
10-7 hPaまでの超高真空環境での4軸位置決め
磁気ダイレクトドライブによるハイダイナミクスと、優れた安定性を備える精密リニアステージ
最大荷重60 kgの高速6軸ヘキサポッド
最大荷重500 kg、絶対位置検出器付きヘキサポッド
最大荷重1.5トン、10-6 hPaまでの真空状態対応ヘキサポッド
宇宙の物体にフォーカス:NASAの「Mars 2020」ミッションに採用されたリニアステージ
ピエゾベース ナノポジショニング システムは、複数のレンズを搭載したレボルバー全体をZ軸方向に動かすことができます。
耐荷重1トン、分解能0.8 µmのヘキサポッド
試料位置決め用6軸ピエゾベースポジショニングシステム
高分解能の小型ポジショナー向けPiezoWalk®ピエゾベースドライブ
高分解能顕微鏡向けパワーPIFOC®ノーズピースナノポジショナー