PIRestアクティブピエゾシム

半導体の製造、アプリケーションの測定、検査システムなどで高精度マシン内の対象または2つのコンポーネント間の実際の寸法が変化した場合、再調節が必要になることがあります。一例は、ユーザーの場所でマシンを起動したときで、設置後に初期設定、ドリフト、交差の変更を補正する必要があります。必要な寸法に合わせて厳密に研磨されている従来のシムのデメリットは、機械的に挿入しなければならないということです。さらに、制限のない微細な調整が常に可能というわけではなく、いったん寸法を固定すると、多くの場合は後から変更することは非常に困難です。PI (Physik Instrumente)は、この問題についてパーフェクトな解決策を見つけ、PI Restピエゾベースの「シム」を開発しました。シムをマシンに設置すると、アクティブなシムにより2つのコンポーネント間のすきまがいつでも再調節可能になるだけでなく、ナノメートルの精度での再調節が可能になります。