U-523 PILineリニアステージ

超音波ピエゾモータ搭載の小型リニアステージ

U-523 PILineリニアステージ
製品の解説 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • 高速位置決め
  • 省スペース、軽量
  • 高いガイド精度
  • 10nmの高センサ分解能
  • セルフロッキング、静止時の発熱なし
  • 低ノイズ動作

精密クラス リニア位置決めステージ

PILineステージは、高速で精密な位置決めを必要とするアプリケーションに特に適しています。電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、ステージの位置が機械的に安定するように維持されます。そのため、電力消費と発熱量が大幅に削減されます。こうした特性は、デューティサイクルが小さく、バッテリー駆動や熱に弱い用途にとって利点となります。エンコーダによって軸の位置を測定し、光学リファレンススイッチにより信頼性と再現性の高いモーションを可能にします。ピエゾモータの駆動原理とその電気的動作は安価であり、カスタマイズも可能です。

PILine 超音波ピエゾモータ

PILine超音波ピエゾモータの構成要素はピエゾアクチュエータであり、このアクチュエータは、連結エレメントを介して可動式のガイド付きランナに予め搭載されています。このピエゾセラミックアクチュエータを100~200 kHzの高周波AC電圧で励起し、超音波振動を生じさせます。アクチュエータが変形することで、結合要素がランナーに対して一定周期で斜めに動きます。生じるフィードは1サイクルあたり数ナノメートルであり、周波数が高いほど速度は大きくなります。ランナーに対してピエゾセラミックアクチュエータにプリロードを適用すると、静止時および電源オフ時のドライブのセルフロッキングを確保できます。

インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

非接触型 オプティカルエンコーダ 最も高い精度のプラットフォームで直接位置を測定する。非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響を与えません。

応用分野

マイクロマニピュレーション、オートメーション、バイオテクノロジー、サンプルマニピュレーション、サンプル位置決め、限られたスペースでのアプリケーション、10-6 hPa までの真空アプリケーション(オプション)。

仕様

データシート

Datasheet U-523 (英語)

日付 / バージョン
2020-12-09
日付 / バージョン
2020-12-01
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

データシート

Datasheet U-523 (英語)

日付 / バージョン
2020-12-09
日付 / バージョン
2020-12-01
ドキュメントの言語

ドキュメント

ドキュメント

User Manual MP178

For U-523.25
日付 / バージョン
2020-12-18
日付 / バージョン
2020-12-18
ドキュメントの言語
ダウンロードリクエストのリンク
ドキュメント

Short Instructions MP121EK

PILine® Positioners: M-66x, M-68x, U-521, U-62x, U-651, U-7xx
日付 / バージョン
5.1.0 03/2021
日付 / バージョン
5.1.0 03/2021
ドキュメントの言語

3D モデル

3D モデル

U-523.25 3-D model

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見積 / 発注

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