L-509 高精度リニアステージ
10 kgまでの荷重に対応したコンパクト設計
- トラベルレンジ26~102 mm (1''~4")
- 再現性~0.1μm
- 直接測定リニアエンコーダーのオプション
- ActiveDrive DC、DC、BLDC、およびDCギヤモーター
- ステッパーモーター
- 方位センシング基準点スイッチ
製品概要
保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイドで高い移動精度と耐荷重を実現します。1 mmピッチングの高精度ボールネジが装備されています。コンパクト設計で、 最高の安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースが使用されています。非接触リミットスイッチが使用されており、 トラベルレンジの中央に方位センシングを備えた非接触光学基準点スイッチとなっています。
駆動タイプ
- .xxADタイプ:高速ActiveDrive DCモーター:パルス幅変調(PWM)信号により制御、動作電圧はモーターハウジングに内蔵のアンプから取得
- .xxDGタイプ:高トルク、高分解能、低モーター電力のギヤヘッド内蔵DCサーボモーター
- .xxSDタイプ:低速、高分解能の2相ステッパーモーター
- .xx3xxxタイプ:DCモーター
- .xx5xxxタイプ:ブラシレスDCモーター
位置計測
- モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載(xxAD10、xxDG10、xxxx32)
- インクリメンタルリニアエンコーダー(xxAD00、xASD00、xxxx11)
インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定
非接触光学エンコーダーは、最高精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響を与えません。
最小インクリメンタルモーションと低速モーション
SMC Hydraコントローラーと連動させると、ステッパーモーターを搭載しリニアエンコーダーを内蔵したバージョン(L-509.xASD00)では、センサー分解能の範囲で再現可能な最小インクリメンタルモーションを実現できます。同じ構成で、秒ごとのセンサーインクリメントの少ない一環した低速が可能です。
応用分野
Autofocus, レーザー切断, Research, Biotechnology, オートメーション, 真空, 光学アライメント
仕様
仕様
モーション | L-509.xxDG10 | L-509.xx3111 / L-509.xx3132 | L-509.xx5132 | 単位 | 誤差 |
---|---|---|---|---|---|
駆動軸 | X | X | X | ||
移動範囲 | L-509.10DG10:26 L-509.20DG10:52 L-509.40DG10:102 | L-509.023xxx: 26 L-509.033xxx: 52 L-509.053xxx: 102 | L-509.025132:26 L-509.035132:52 L-509.055132:102 | mm | |
ピッチング/ヨーイング | L-509.10DG10:±60 L-509.20DG10:±90 L-509.40DG10:±120 | L-509.023xxx:60 L-509.033xxx:±90 L-509.053xxx:±120 | L-509.025132:±60 L-509.035132:±90 L-509.055132:±120 | µrad | 標準 |
直線性/平面性 | L-509.10DG10:2 L-509.20DG10:4 L-509.40DG10:8 | L-509.023xxx: 2 L-509.033xxx: 4 L-509.053xxx: 8 | L-509.025132:2 L-509.035132:4 L-509.055132:8 | µm | 標準 |
速度 | 3 | 50 | 50 | mm/s | 最大 |
位置決め | L-509.xxDG10 | L-509.xx3111 | L-509.xxx132 | 単位 | 誤差 |
---|---|---|---|---|---|
内蔵センサー | インクリメンタルロータリーエンコーダ | インクリメンタルエンコーダー | インクリメンタルロータリーエンコーダ | ||
センサー信号 | A/B直行、TTL | sin/cos、ピーク間1 V、信号ピリオド20 µm | A/B直行、TTL | ||
設計分解能 | 0.008 | 0.005 | 0.05 | µm | |
センサー分解能ロータリーエンコーダー | 4096 | – | 20000 | Cts./rev. | |
センサー分解能リニアエンコーダー | – | – | µm | ||
最小インクリメンタルモーション | 0.1 | 0.1 | 0.5 | µm | 標準 |
一方向繰り返し性 | 0.1 | 0.1 | 0.2 | µm | 標準 |
双方向繰り返し性 | ±2 | ±0.2 | ±0.5 | µm | 標準 |
基準点スイッチとリミットスイッチ | 光学 | 光学 | 光学 |
その他 | L-509.xxDG10 | L-509.xx3xxx | L-509.xx5132 | 単位 | 誤差 |
---|---|---|---|---|---|
動作温度範囲 | 5~40 | 5~40 | 5~40 | °C | |
材料 | アルミニウム、鋼鉄 | アルミニウム、鋼鉄 | アルミニウム、鋼鉄 | ||
質量 | L-509.10DG10:1.4 L-509.20DG10:1.6 L-509.40DG10:1.9 | L-509.023xxx: 1.2 L-509.033xxx: 1.3 L-509.053xxx: 1.5 | L-509.025132:1.4 L-509.035132:1.5 L-509.055132:1.7 | kg | ±5 % |
移動質量、アンロード | 0.22 | L-509.023111:0.24 L-509.033111:0.24 L-509.053111:0.25 | 0.22 | kg | ±5 % |
接続 | 1 × HD Sub-D 26 (m) (モーター/センサー) | 1 × HD Sub-D 26 (m) (モーター) L-509.xx3111その他: 1 × Sub-D 9 (m) (センサー) | 1 × HD Sub-D 26 (m) (モーター/センサー) | ||
推奨コントローラー/ドライバー | C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー | C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー | C-891 (単一軸) C-891.10C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー |
モーション | L-509.xxADxx | L-509.xxSD00 / L-509.xASD00 | 単位 | 誤差 |
---|---|---|---|---|
駆動軸 | X | X | ||
移動範囲 | L-509.1xADxx:26 L-509.2xADxx:52 L-509.4xADxx:102 | L-509.1xSDxx:26 L-509.2xSDxx:52 L-509.4xSDxx:102 | mm | |
ピッチング/ヨーイング | L-509.1xADxx:±60 L-509.2xADxx:±90 L-509.4xADxx:±120 | L-509.1xSDxx:±60 L-509.2xSDxx:±90 L-509.4xSDxx:±120 | µrad | 標準 |
直線性/平面性 | L-509.1xADxx:2 L-509.2xADxx:4 L-509.4xADxx:8 | L-509.1xSDxx:2 L-509.2xSDxx:4 L-509.4xSDxx:8 | µm | 標準 |
速度 | 50 | 20 | mm/s | 最大 |
位置決め | L-509.xxADxx | L-509.xxSD00 | L-509.xASD00 | 単位 | 誤差 |
---|---|---|---|---|---|
内蔵センサー | L-509.xxAD10:インクリメンタルロータリーエンコーダー L-509.xxAD00:インクリメンタルリニアエンコーダー | – | インクリメンタルエンコーダー | ||
センサー信号 | A/B直行、TTL | – | sin/cos、ピーク間1 V、信号ピリオド20 µm | ||
設計分解能 | L-509.xxAD10:0.061 L-509.xxAD00:0.05 | 5.0 | 0.005 | µm | |
センサー分解能ロータリーエンコーダー | L-509.xxAD10:16384 | – | – | Cts./rev. | |
センサー分解能リニアエンコーダー | L-509.xxAD00:0.05 | – | 0.005 | µm | |
分解能ステッパーモーター | – | 200 | 200 | Full steps/rev | |
最小インクリメンタルモーション | L-509.xxAD10:0.8 L-509.xxAD00:0.2 | 0.1 | 0.02 | µm | 標準 |
一方向繰り返し性 | L-509.xxAD10:0.2 L-509.xxAD00:0.1 | 0.3 | 0.1 | µm | 標準 |
双方向繰り返し性 | L-509.xxAD10:±0.5 L-509.14AD00:±0.3 L-509.24AD00:±0.2 L-509.44AD00:±0.2 | ±1 | ±0.2 | µm | 標準 |
基準点スイッチとリミットスイッチ | 光学 | 光学 | 光学 |
その他 | L-509.xxADxx | L-509.xxSD00 | L-509.xASD00 | 単位 | 誤差 |
---|---|---|---|---|---|
動作温度範囲 | 5~40 | 5~40 | 5~40 | °C | |
材料 | アルミニウム、鋼鉄 | アルミニウム、鋼鉄 | アルミニウム、鋼鉄 | ||
質量 | L-509.10AD10:1.4 L-509.20AD10:1.5 L-509.40AD10:1.7 L-509.14AD00:1.4 L-509.24AD00:1.6 L-509.44AD00:1.8 | L-509.10SD00:1.4 L-509.20SD00:1.5 L-509.40SD00:1.7 | L-509.1ASD00:1.5 L-509.2ASD00:1.6 L-509.4ASD00:1.8 | kg | ±5 % |
移動質量、アンロード | L-509.x0AD10:0.22 L-509.14AD00:0.24 L-509.24AD00:0.24 L-509.44AD00:0.25 | 0.22 | L-509.1ASD00:0.24 L-509.2ASD00:0.24 L-509.4ASD00:0.25 | kg | ±5 % |
接続 | 1 × Sub-D 15 (m) (モーター/センサー) | 1 × HD Sub-D 26 (m) (モーター) | 1 × HD Sub-D 26 (m) (モーター) 1 × Sub-D 9 (m) (センサー) | ||
推奨コントローラー/ドライバー | C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー | C-663.12 (単一軸) SMC Hydra (二重軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー | C-663.12 (単一軸) SMC Hydra (二重軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー |
ダウンロード
製品についての注意事項
Product Change Notification Motor Driven Products
データシート
ドキュメント
3-D model L-509.xxSD00
User Manual L509T0018
L-509 Vacuum-Compatible Precision Linear Positioner (1E-9 hPa)
User Manual MP141
L-509 Precision Linear Stage, 85 mm Width
User Manual MP174
L-509 Vacuum-Compatible Precision Linear Stage (1 E-6 hPa)
User Manual MP186
This document describes the following precision linear positioner, vacuum-compatible 1 E-7 hPa: L-509.0x1300V7; L-509.0x1311V7
3D モデル
3-D model L-509.x0DG10
3-D model L-509.0xx132
3-D model L-509.xxADx0
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