L-509 高精度リニアステージ

10 kgまでの荷重に対応したコンパクト設計

トラベルレンジ26～102 mm (1''～4")
再現性～0.1μm
直接測定リニアエンコーダーのオプション
ActiveDrive DC、DC、BLDC、およびDCギヤモーター
ステッパーモーター
方位センシング基準点スイッチ

L-509.10SD00

ステッパーモーター内蔵L-509バージョン、寸法: mm

ActiveDrive DCモーター内蔵L-509バージョン、寸法: mm

L-509モーションプラットフォームの詳細図

L-511およびL-509高精度ステージはアダプタープレートなしで結合し、複数の軸で多軸ポジショニングできます。

L-511 (水平)およびL-509 (垂直)高精度ステージを使用した多軸セットアップ

軸とトルクの方向はリニアステージ向き

保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイドで高い移動精度と耐荷重を実現します。1 mmピッチングの高精度ボールネジが装備されています。コンパクト設計で、最高の安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースが使用されています。非接触リミットスイッチが使用されており、トラベルレンジの中央に方位センシングを備えた非接触光学基準点スイッチとなっています。

.xxADタイプ：高速ActiveDrive DCモーター：パルス幅変調(PWM)信号により制御、動作電圧はモーターハウジングに内蔵のアンプから取得
.xxDGタイプ：高トルク、高分解能、低モーター電力のギヤヘッド内蔵DCサーボモーター
.xxSDタイプ：低速、高分解能の2相ステッパーモーター
.xx3xxxタイプ：DCモーター
.xx5xxxタイプ：ブラシレスDCモーター

モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載(xxAD10、xxDG10、xxxx32)
インクリメンタルリニアエンコーダー(xxAD00、xASD00、xxxx11)

非接触光学エンコーダーは、最高精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響を与えません。

SMC Hydraコントローラーと連動させると、ステッパーモーターを搭載しリニアエンコーダーを内蔵したバージョン(L-509.xASD00)では、センサー分解能の範囲で再現可能な最小インクリメンタルモーションを実現できます。同じ構成で、秒ごとのセンサーインクリメントの少ない一環した低速が可能です。

Autofocus, レーザー切断, Research, Biotechnology, オートメーション, 真空, 光学アライメント

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データシート

日付 / バージョン

2021-03-24

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日付 / バージョン

2021-03-24

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日付 / バージョン

2021-01-21

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モーション	L-509.xxDG10	L-509.xx3111 / L-509.xx3132	L-509.xx5132	単位	誤差
駆動軸	X	X	X
移動範囲	L-509.10DG10：26 L-509.20DG10：52 L-509.40DG10：102	L-509.023xxx: 26 L-509.033xxx: 52 L-509.053xxx: 102	L-509.025132：26 L-509.035132：52 L-509.055132：102	mm
ピッチング/ヨーイング	L-509.10DG10：±60 L-509.20DG10：±90 L-509.40DG10：±120	L-509.023xxx：60 L-509.033xxx：±90 L-509.053xxx：±120	L-509.025132：±60 L-509.035132：±90 L-509.055132：±120	µrad	標準
直線性/平面性	L-509.10DG10：2 L-509.20DG10：4 L-509.40DG10：8	L-509.023xxx: 2 L-509.033xxx: 4 L-509.053xxx: 8	L-509.025132：2 L-509.035132：4 L-509.055132：8	µm	標準
速度	3	50	50	mm/s	最大

位置決め	L-509.xxDG10	L-509.xx3111	L-509.xxx132	単位	誤差
内蔵センサー	インクリメンタルロータリーエンコーダ	インクリメンタルエンコーダー	インクリメンタルロータリーエンコーダ
センサー信号	A/B直行、TTL	sin/cos、ピーク間1 V、信号ピリオド20 µm	A/B直行、TTL
設計分解能	0.008	0.005	0.05	µm
センサー分解能ロータリーエンコーダー	4096	–	20000	Cts./rev.
センサー分解能リニアエンコーダー	–		–	µm
最小インクリメンタルモーション	0.1	0.1	0.5	µm	標準
一方向繰り返し性	0.1	0.1	0.2	µm	標準
双方向繰り返し性	±2	±0.2	±0.5	µm	標準
基準点スイッチとリミットスイッチ	光学	光学	光学

機械特性	L-509.xxDG10	L-509.xx3xxx L-509.xx5xxx	単位	誤差
駆動ネジタイプ	ボールネジ	ボールネジ
スピンドルピッチ	1	1	mm
ギヤ比率	2401:81	–
ガイドの種類	保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド	保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド
保持力、無通電	50	L-509.xx3xxx: 30 L-509.xx5xxx: 15	N	標準
圧縮/引張力、通電	60	60	N	最大
許容されるラテラルフォース	50	50	N	最大
負荷容量	100	100	N	最大
許容トルクMx (θX方向)	30	30	N·m	最大
許容トルクMy (θY方向)	25	25	N·m	最大
許容トルクMz (θZ方向)	20	20	N·m	最大

駆動特性	L-509.xxDG10	L-509.xx3xxx	L-509.xx5xxx	単位	誤差
モータータイプ	DCモーター(ギヤヘッド内蔵)	DCモーター	ブラシレスDCモーター、3相
動作電圧、公称	24	24	24	V	公称
動作電圧、最大	48	48	48	V	最大

その他	L-509.xxDG10	L-509.xx3xxx	L-509.xx5132	単位	誤差
動作温度範囲	5～40	5～40	5～40	°C
材料	アルミニウム、鋼鉄	アルミニウム、鋼鉄	アルミニウム、鋼鉄
質量	L-509.10DG10：1.4 L-509.20DG10：1.6 L-509.40DG10：1.9	L-509.023xxx: 1.2 L-509.033xxx: 1.3 L-509.053xxx: 1.5	L-509.025132：1.4 L-509.035132：1.5 L-509.055132：1.7	kg	±5 %
移動質量、アンロード	0.22	L-509.023111：0.24 L-509.033111：0.24 L-509.053111：0.25	0.22	kg	±5 %
接続	1 × HD Sub-D 26 (m) (モーター/センサー)	1 × HD Sub-D 26 (m) (モーター) L-509.xx3111その他： 1 × Sub-D 9 (m) (センサー)	1 × HD Sub-D 26 (m) (モーター/センサー)
推奨コントローラー/ドライバー	C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー	C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー	C-891 (単一軸) C-891.10C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー

モーション	L-509.xxADxx	L-509.xxSD00 / L-509.xASD00	単位	誤差
駆動軸	X	X
移動範囲	L-509.1xADxx：26 L-509.2xADxx：52 L-509.4xADxx：102	L-509.1xSDxx：26 L-509.2xSDxx：52 L-509.4xSDxx：102	mm
ピッチング/ヨーイング	L-509.1xADxx：±60 L-509.2xADxx：±90 L-509.4xADxx：±120	L-509.1xSDxx：±60 L-509.2xSDxx：±90 L-509.4xSDxx：±120	µrad	標準
直線性/平面性	L-509.1xADxx：2 L-509.2xADxx：4 L-509.4xADxx：8	L-509.1xSDxx：2 L-509.2xSDxx：4 L-509.4xSDxx：8	µm	標準
速度	50	20	mm/s	最大

位置決め	L-509.xxADxx	L-509.xxSD00	L-509.xASD00	単位	誤差
内蔵センサー	L-509.xxAD10：インクリメンタルロータリーエンコーダー L-509.xxAD00：インクリメンタルリニアエンコーダー	–	インクリメンタルエンコーダー
センサー信号	A/B直行、TTL	–	sin/cos、ピーク間1 V、信号ピリオド20 µm
設計分解能	L-509.xxAD10：0.061 L-509.xxAD00：0.05	5.0	0.005	µm
センサー分解能ロータリーエンコーダー	L-509.xxAD10：16384	–	–	Cts./rev.
センサー分解能リニアエンコーダー	L-509.xxAD00：0.05	–	0.005	µm
分解能ステッパーモーター	–	200	200	Full steps/rev
最小インクリメンタルモーション	L-509.xxAD10：0.8 L-509.xxAD00：0.2	0.1	0.02	µm	標準
一方向繰り返し性	L-509.xxAD10：0.2 L-509.xxAD00：0.1	0.3	0.1	µm	標準
双方向繰り返し性	L-509.xxAD10：±0.5 L-509.14AD00：±0.3 L-509.24AD00：±0.2 L-509.44AD00：±0.2	±1	±0.2	µm	標準
基準点スイッチとリミットスイッチ	光学	光学	光学

機械特性	L-509.xxADxx / L-509.xxSD00 / L-509.xASD00	単位	誤差
駆動ネジタイプ	ボールネジ
スピンドルピッチ	1	mm
ガイドの種類	保持器ずれ防止機能付きクロスローラーガイド
保持力、無通電	L-509.xxADxx：30 L-509.xxSD00 / L-509.xASD00：50	N	標準
圧縮/引張力、通電	60	N	最大
許容されるラテラルフォース	50	N	最大
負荷容量	100	N	最大
許容トルクMx (θX方向)	30	N·m	最大
許容トルクMy (θY方向)	25	N·m	最大
許容トルクMz (θZ方向)	20	N·m	最大

駆動特性	L-509.xxADxx	L-509.xxSD00 / L-509.xASD00	単位	誤差
モータータイプ	ActiveDrive DCモーター(PWM)	ステッパーモーター、2相
動作電圧、公称	24	24	V	公称
動作電圧、最大	24	48	V	最大

その他	L-509.xxADxx	L-509.xxSD00	L-509.xASD00	単位	誤差
動作温度範囲	5～40	5～40	5～40	°C
材料	アルミニウム、鋼鉄	アルミニウム、鋼鉄	アルミニウム、鋼鉄
質量	L-509.10AD10：1.4 L-509.20AD10：1.5 L-509.40AD10：1.7 L-509.14AD00：1.4 L-509.24AD00：1.6 L-509.44AD00：1.8	L-509.10SD00：1.4 L-509.20SD00：1.5 L-509.40SD00：1.7	L-509.1ASD00：1.5 L-509.2ASD00：1.6 L-509.4ASD00：1.8	kg	±5 %
移動質量、アンロード	L-509.x0AD10：0.22 L-509.14AD00：0.24 L-509.24AD00：0.24 L-509.44AD00：0.25	0.22	L-509.1ASD00：0.24 L-509.2ASD00：0.24 L-509.4ASD00：0.25	kg	±5 %
接続	1 × Sub-D 15 (m) (モーター/センサー)	1 × HD Sub-D 26 (m) (モーター)	1 × HD Sub-D 26 (m) (モーター) 1 × Sub-D 9 (m) (センサー)
推奨コントローラー/ドライバー	C-863 (単一軸) C-884 (最大6軸まで) C-863.20C885内蔵C-885 (最大40軸まで) ACSモジュラーコントローラー	C-663.12 (単一軸) SMC Hydra (二重軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー	C-663.12 (単一軸) SMC Hydra (二重軸) C-663.12C885内蔵C-885 (最大20軸まで) ACSモジュラーコントローラー

納入品目に、推奨コントローラーの動作に必要なすべてのケーブルが含まれています。ケーブル長は3 mです。他のコントローラーと接続するケーブルはアクセサリーとしてご注文いただけます。

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製品についての注意事項

日付 / バージョン

2021-04-19

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データシート

日付 / バージョン

2021-03-24

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日付 / バージョン

2021-03-24

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日付 / バージョン

2021-01-21

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ドキュメント

日付 / バージョン

2017-11-08

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ドキュメント

L-509 Vacuum-Compatible Precision Linear Positioner (1E-9 hPa)

日付 / バージョン

2020-06-29

pdf - 3 MB

英語

ドキュメント

L-509 Precision Linear Stage, 85 mm Width

日付 / バージョン

1.5 2020-06-30

pdf - 3 MB

日付 / バージョン

1.5 2020-06-30

pdf - 3 MB

ドキュメント

L-509 Vacuum-Compatible Precision Linear Stage (1 E-6 hPa)

日付 / バージョン

1.2 2020-06-30

pdf - 3 MB

日付 / バージョン

1.2 2020-06-30

pdf - 3 MB

ドキュメント

This document describes the following precision linear positioner, vacuum-compatible 1 E-7 hPa: L-509.0x1300V7; L-509.0x1311V7

日付 / バージョン

1.2 2020-06-29

pdf - 2 MB

英語

ドキュメント

Positioners with Electric Motors: DT-xx / HPS-170 / L-xxx / LS-xxx / MTS-65 / PRS-xxx / RS-40 / UPL-120 / VT-80 / WT-xx / WT-xxx

日付 / バージョン

2.0.0 01/2020

pdf - 736 KB

日付 / バージョン

2.0.0 01/2020

pdf - 749 KB

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３D モデル

日付 / バージョン

2017-11-08

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３D モデル

日付 / バージョン

2017-06-09

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３D モデル

日付 / バージョン

2017-11-07

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見積/発注へ

Separate connection cable required for motor and sensor connection respectively.

必要な数量、価格、およびリードタイムに関する無料の見積を依頼するか、必要な編集について説明します。オンラインで提供されるすべての製品は直接発注できます。

L-509.023111

高精度リニアステージ、幅85 mm、トラベルレンジ26 mm、DCモーター、インクリメンタルエンコーダー（sin/cos signal transmission) 、3 mケーブルセット付属

製品概要

駆動タイプ

位置計測

インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定

最小インクリメンタルモーションと低速モーション

応用分野

仕様

Datasheet L-509

仕様

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製品についての注意事項

Product Change Notification Motor Driven Products

データシート

Datasheet L-509

ドキュメント

3-D model L-509.xxSD00

User Manual L509T0018

User Manual MP141

User Manual MP174

User Manual MP186

Short Instructions MP146EK

３D モデル

3-D model L-509.x0DG10

3-D model L-509.0xx132

3-D model L-509.xxADx0

見積 / 発注

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