小型 ヘキサポッド

6自由度のモーションに対応した最小のデバイスはQ-motionピエゾモーターステージで構成されていますが、ブラシレス直流モーターヘキサポッドによる手のひらサイズのステージもご用意しております。

キネマティック設計は、用途における各軸方向のモーションの重要性に応じて行われます。標準的である、パラレルキネマティックなヘキサポッド型デザインでは、全体的な性能が最も均一となります。比較的大きな直線モーションが必要な場合は、薄型デザインが推奨されます。

超高真空環境や非磁性環境には、PI社の特許取得済みドライブ技術であるPICMA®またはPiezoWalk®を採用したヘキサポッドが最適です。

H-811.I2 6軸小型ヘキサポッド

H-811.F2 6軸小型ヘキサポッド

H-811.S2 6軸モーションヘキサポッド

H-810.I2 6軸小型ヘキサポッド

PI P-911KNMV

P-911KNMV UHV対応小型ピエゾヘキサポッド