小型 ヘキサポッド

6自由度のモーションに対応した最小のデバイスはQ-motionピエゾモーターステージで構成されていますが、ブラシレス直流モーターヘキサポッドによる手のひらサイズのステージもご用意しております。

キネマティック設計は、用途における各軸方向のモーションの重要性に応じて行われます。標準的である、パラレルキネマティックなヘキサポッド型デザインでは、全体的な性能が最も均一となります。比較的大きな直線モーションが必要な場合は、薄型デザインが推奨されます。

超高真空環境や非磁性環境には、PI社の特許取得済みドライブ技術であるPICMA®またはPiezoWalk®を採用したヘキサポッドが最適です。

H-811.I2 6軸小型ヘキサポッド

高速、コンパクト、高精度

H-811.F2 6軸小型ヘキサポッド

ファイバーアライメントに最適

H-811.S2 6軸モーションヘキサポッド

高速でコンパクト - ハイダイナミクス用途に最適
  • Travel ranges X/Y/Z [mm]: ±17/±16/±6.5
  • Max. load horiz./any [kg]: 2.5/0.9
  • Max. velocity X/Y/Z [mm/s]: 10
  • Min. incr. motion X/Y/Z [µm]: 1/1/0.5
  • Max. frequency [Hz]: 30

H-810.I2 6軸小型ヘキサポッド

小スペースで優れた精度
PI P-911KNMV

P-911KNMV UHV対応小型ピエゾヘキサポッド

強磁場中でも高精度位置決め