S-310 • S-316 ピエゾZ チップ/チルトスキャナー
開口部付きハイダイナミクスシステム
- 開口部:10mm
- トライポッド型ピエゾドライブ
- 最大12μmのピストン動作(位相シフタ)
- サブミリ秒の応答時間
- サブマイクロラジアンの分解能
- 高精度クローズドループバージョンあり
応用分野
- 画像処理/安定化
- レーザースキャニング/ビームステアリング
- レーザーチューニング
- 光学フィルター/スイッチ
- ビーム安定化
- 干渉計
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
平行運動による高ダイナミック多軸動作
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
仕様
仕様
S-310.10 | S-314.10 | S-311.10 | S-315.10 | S-316.10S-316.10H | 単位 | 公差 | |
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駆動軸 | Z | Z | Z,θX,θY | Z,θX,θY | Z,θX,θY | ||
動作および位置決め | |||||||
内蔵センサー | – | – | – | – | SGS | ||
トラベルレンジ(Z 0~100V オープンループ時) | 6 / – | 12 / – | 6 / – | 12 / – | 12 / 12 | µm | +20 % / -0 % |
オープンループストローク チップ/チルト角0~100 V | – | – | 600 | 1200 | 1200 | µrad | +20 % / -0 % |
トラベルレンジ (Z クローズドループ時) | – | – | – | – | 12 | µm | |
クローズドループチップ/チルト角 | – | – | – | – | 1200 | µrad | |
Z軸分解能(オープンループ時) | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | nm | 標準 |
オープンループ分解能θX,θY | – | – | 0.02 | 0.05 | 0.05 | µrad | 標準 |
クローズドループ分解能(Z) | – | – | – | – | 0.4 | nm | 標準 |
クローズドループ分解能θX,θY | – | – | – | – | 0.1 | µrad | 標準 |
リニアリティエラー | – | – | – | – | 0.2 | % | 標準 |
機械特性 | |||||||
剛性 Z | 20 | 10 | 20 | 10 | 10 | N/µm | ±20 % |
共振周波数 (Z) 無負荷時 | 9.5 | 5.5 | 9.5 | 5.5 | 5.5 | kHz | ±20 % |
共振周波数(withΦ15 mmx4 mmのガラスミラー) | 6.5 | 4.4 | 6.5 | 4.1 | 4.1 | kHz | ±20 % |
共振周波数(withΦ20 mmx4 mmのガラスミラー) | 6.1 | 4.2 | 6.1 | 3.4 | 3.4 | kHz | ±20 % |
ピボットポイントと表面プラットフォームの距離 | – | – | 5 | 5 | 5 | mm | ±0.5mm |
プラットフォーム慣性モーメント | – | – | 150 | 150 | 150 | g × mm² | ±20 % |
駆動特性 | |||||||
セラミックタイプ | PICMA P-882 | PICMA P-882 | PICMA P-882 | PICMA P-882 | PICMA P-882 | ||
静電容量 | 0.39 | 0.93 | 0.39 (0.13/軸) | 0.93 (0.31/軸) | 0.93 (0.31/軸) | µF | ±20 % |
その他 | |||||||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材料 | ステンレススチール | ステンレススチール | ステンレススチール | ステンレススチール | ステンレススチール | ||
質量 | 0.053 | 0.055 | 0.045 | 0.055 | 0.055 | kg | ±5 % |
ケーブル長さ | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | m | +100 mm / -0 mm |
電圧接続部 | LEMO | LEMO | LEMO | LEMO | S-316.10 LEMO S-316.10H D-Sub37(m) | ||
センサー接続 | – | – | – | – | S-316.10 LEMO S-316.10H D-Sub37(m) | ||
推奨コントローラ | E-505, E-610, E-625, E-727 | E-505, E-610, E-625, E-727 | E-505, E-610, E-625, E-727 | E-505, E-610, E-625, E-727 | E-505, E-610, E-625, E-727 |
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S-316 3-D model
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テクノロジー

PICMA® テクノロジー
特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。

フレクシャガイドシステム
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。

デジタルモーションコントローラ
デジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。

パラレルキネマティック
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。