S-310 • S-316 ピエゾZ チップ/チルトスキャナー

駆動軸

Z

Z

Z,θ_X,θ_Y

Z,θ_X,θ_Y

Z,θ_X,θ_Y

内蔵センサー

–

–

–

–

SGS

トラベルレンジ（Z 0～100V オープンループ時）

6 / –

12 / –

6 / –

12 / –

12 / 12

µm

+20 % / -0 %

オープンループストローク チップ/チルト角0～100 V

–

–

600

1200

1200

µrad

+20 % / -0 %

トラベルレンジ (Z クローズドループ時）

–

–

–

–

12

µm

クローズドループチップ/チルト角

–

–

–

–

1200

µrad

Z軸分解能（オープンループ時）

0.1

0.2

0.1

0.2

0.2

nm

標準

オープンループ分解能θ_X,θ_Y

–

–

0.02

0.05

0.05

µrad

標準

クローズドループ分解能（Z）

–

–

–

–

0.4

nm

標準

クローズドループ分解能θ_X,θ_Y

–

–

–

–

0.1

µrad

標準

リニアリティエラー

–

–

–

–

0.2

%

標準

剛性 Z

20

10

20

10

10

N/µm

±20 %

共振周波数 (Z) 無負荷時

9.5

5.5

9.5

5.5

5.5

kHz

±20 %

共振周波数（withΦ15 mmx4 mmのガラスミラー）

6.5

4.4

6.5

4.1

4.1

kHz

±20 %

共振周波数（withΦ20 mmx4 mmのガラスミラー）

6.1

4.2

6.1

3.4

3.4

kHz

±20 %

ピボットポイントと表面プラットフォームの距離

–

–

5

5

5

mm

±0.5mm 

プラットフォーム慣性モーメント

–

–

150

150

150

g × mm²

±20 %

セラミックタイプ

PICMA P-882

PICMA P-882

PICMA P-882

PICMA P-882

PICMA P-882

静電容量

0.39

0.93

0.39 (0.13/軸)

0.93 (0.31/軸)

0.93 (0.31/軸)

µF

±20 %

動作温度範囲

-20～80

-20～80

-20～80

-20～80

-20～80

°C

材料

ステンレススチール

ステンレススチール

ステンレススチール

ステンレススチール

ステンレススチール

質量

0.053

0.055

0.045

0.055

0.055

kg

±5 %

ケーブル長さ

2

2

2

2

2

m

+100 mm / -0 mm

電圧接続部

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

S-316.10

LEMO

S-316.10H

D-Sub37(m)

センサー接続

–

–

–

–

S-316.10

LEMO

S-316.10H

D-Sub37(m)

推奨コントローラ

E-505, E-610, E-625, E-727

E-505, E-610, E-625, E-727

E-505, E-610, E-625, E-727

E-505, E-610, E-625, E-727

E-505, E-610, E-625, E-727