特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
駆動軸
Z
Z,θX,θY
内蔵センサー
–
SGS
トラベルレンジ（Z 0～100V オープンループ時）
6 / –
12 / –
12 / 12
µm
+20 % / -0 %
オープンループストローク チップ/チルト角0～100 V
600
1200
µrad
トラベルレンジ (Z クローズドループ時）
12
クローズドループチップ/チルト角
Z軸分解能（オープンループ時）
0.1
0.2
nm
標準
オープンループ分解能θX,θY
0.02
0.05
クローズドループ分解能（Z）
0.4
クローズドループ分解能θX,θY
リニアリティエラー
%
剛性 Z
20
10
N/µm
±20 %
共振周波数 (Z) 無負荷時
9.5
5.5
kHz
共振周波数（withΦ15 mmx4 mmのガラスミラー）
6.5
4.4
4.1
共振周波数（withΦ20 mmx4 mmのガラスミラー）
6.1
4.2
3.4
ピボットポイントと表面プラットフォームの距離
5
mm
±0.5mm
プラットフォーム慣性モーメント
150
g × mm²
セラミックタイプ
PICMA P-882
静電容量
0.39
0.93
0.39 (0.13/軸)
0.93 (0.31/軸)
µF
動作温度範囲
-20～80
°C
材料
ステンレススチール
質量
0.053
0.055
0.045
kg
±5 %
ケーブル長さ
2
m
+100 mm / -0 mm
電圧接続部
LEMO
S-316.10
S-316.10H
D-Sub37(m)
センサー接続
推奨コントローラ
E-505, E-610, E-625, E-727
Piezo Tip/Tilt Platforms: S-3xx
S-310, S-311, S-314, S-315, S-316 Piezo Z / Tip / Tilt Scanner
Design – Performance – Tuning
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