特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
駆動軸
Z,θX,θY
内蔵センサー
–
SGS
トラベルレンジ（Z 0～100V オープンループ時）
30
µm
+20 % / -0 %
オープンループストローク チップ/チルト角0～100 V
5
mrad
トラベルレンジ (Z クローズドループ時）
クローズドループストローク チップ/チルト角 θX,θY
4
Z軸分解能（オープンループ時）
0.5
nm
標準
オープンループ分解能θX,θY
0.05
µrad
クローズドループ分解能（Z）
0.6
クローズドループ分解能（θX,θY）
0.1
無負荷時の共振周波数(Z)
2
kHz
±20 %
共振周波数（withΦ25 mmx8 mmのガラスミラー）
1
ピボットポイントと表面プラットフォームの距離
6
mm
±0.5mm
プラットフォーム慣性モーメント
515
g × mm²
セラミックタイプ
PICMA P-885
静電容量
9.3
µF
動作温度範囲
-20～80
°C
原材料 (ハウジング)
アルミニウム
質量
0.065
kg
±5 %
ケーブル長さ
1.5
m
+100 mm / -0 mm
センサー/ボルト接続
LEMO
D-Sub25(m)
推奨コントローラ
E-610, E-616, E-663, E-727
Piezo Tip/Tilt Platforms: S-3xx
S-325 Piezo Z / Tip / Tilt Platform
Design – Performance – Tuning
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特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。
