S-325 ピエゾZ/チップ/チルトプラットフォーム
ミラー 光学向けハイダイナミクストライポッドシステム
- 光ビーム偏向~10mrad
- 分解能~50nrad
- リニアトラベルレンジ:~30μm(動作時間調整用)
- コンパクトなトライポッド設計
- サブミリ秒の応答時間
- 精度向上のためのクローズドループバージョン
- Φ25 mm(1")までのミラー用
- ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
- パラレル制御によるダイナミクスの向上/多軸の精密制御
応用分野
- 画像処理/安定化
- 光学トラッピング
- レーザースキャニング/ビームステアリング
- レーザーチューニング
- 光学フィルター/スイッチ
- 光学系
- ビーム安定化
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
平行運動による高ダイナミック多軸動作
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
仕様
仕様
S-325.30L | S-325.3SL | S-325.3SD | 単位 | 公差 | |
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駆動軸 | Z,θX,θY | Z,θX,θY | Z,θX,θY | ||
動作および位置決め | |||||
内蔵センサー | – | SGS | SGS | ||
トラベルレンジ(Z 0~100V オープンループ時) | 30 | 30 | 30 | µm | +20 % / -0 % |
オープンループストローク チップ/チルト角0~100 V | 5 | 5 | 5 | mrad | +20 % / -0 % |
トラベルレンジ (Z クローズドループ時) | – | 30 | 30 | µm | |
クローズドループストローク チップ/チルト角 θX,θY | – | 4 | 4 | mrad | |
Z軸分解能(オープンループ時) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | nm | 標準 |
オープンループ分解能θX,θY | 0.05 | 0.05 | 0.05 | µrad | 標準 |
クローズドループ分解能(Z) | – | 0.6 | 0.6 | nm | 標準 |
クローズドループ分解能(θX,θY) | – | 0.1 | 0.1 | µrad | 標準 |
機械特性 | |||||
無負荷時の共振周波数(Z) | 2 | 2 | 2 | kHz | ±20 % |
共振周波数(withΦ25 mmx8 mmのガラスミラー) | 1 | 1 | 1 | kHz | ±20 % |
ピボットポイントと表面プラットフォームの距離 | 6 | 6 | 6 | mm | ±0.5mm |
プラットフォーム慣性モーメント | 515 | 515 | 515 | g × mm² | ±20 % |
駆動特性 | |||||
セラミックタイプ | PICMA P-885 | PICMA P-885 | PICMA P-885 | ||
静電容量 | 9.3 | 9.3 | 9.3 | µF | ±20 % |
その他 | |||||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | °C | |
原材料 (ハウジング) | アルミニウム | アルミニウム | アルミニウム | ||
質量 | 0.065 | 0.065 | 0.065 | kg | ±5 % |
ケーブル長さ | 2 | 2 | 1.5 | m | +100 mm / -0 mm |
センサー/ボルト接続 | LEMO | LEMO | D-Sub25(m) | ||
推奨コントローラ | E-610, E-616, E-663, E-727 | E-610, E-616, E-663, E-727 | E-610, E-616, E-663, E-727 |
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S-325 3-D model
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