特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
駆動軸
θX、θY
内蔵センサー
SGS
オープンループストローク チップ/チルト角 θX、θY-20～＋120V
4.2
7
mrad
最小
クローズドループストローク チップ/チルト角 θX、θY
3
5
オープンループ分解能θX、θY
0.05
0.1
µrad
標準
クローズドループ分解能θX、θY
0.25
リニアリティエラー( θX、θY)
0.3 (1)
0.1 (2)
%
再現性 θX、θY10%チルト角
0.3
0.5
再現性 θX、θY100%チルト角
無負荷時共振周波数（θX/θY）
12
16
kHz
±20 %
共振周波数θX、θY（withΦ12.7 mmx3 mmのガラスミラー）
9
10
ピボットポイントと表面プラットフォームの距離
4
mm
±1mm
プラットフォーム慣性モーメント
30
g × mm²
セラミックタイプ
PICMA
静電容量
0.96/軸
6.2/軸
µF
IDチップ機能
S-331.2SH
S-331.5SH
動作温度範囲
-20～80
°C
原材料 (ハウジング)
ステンレススチール
表面材料
チタン
質量
0.13
0.28
kg
±5 %
ケーブル長さ
2
m
+100 mm / -0 mm
センサー/ボルト接続
SHバージョン：Sub-D 37 (m)
SLバージョン：LEMO
推奨コントローラ
E-503、E-727
Piezo Tip/Tilt Platforms: S-3xx
S-331 High-Dynamics Piezo Tip / Tilt Systems with High Stiffness
Design – Performance – Tuning
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特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。
