S-331 高速チップ/チルトプラットフォーム
短時間の整定時間でハイダイナミクスなリニアリティ
- チップ/チルト角5mrad、光偏向角10mrad(0.57°)
- パラレル制御設計によるチップ/チルト両軸での高性能特性
- ダイナミックモーションと高速ステップ&セトリングの高い共振周波数
- 高リニアリティの位置センサー
- 最大12.7mm径(0.5")のミラー用
応用分野
- 画像処理/安定化
- 光学トラッピング
- レーザースキャニング/ビームステアリング
- レーザーチューニング
- 光学フィルター/スイッチ
- 光学系
- ビーム安定化
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
平行運動による高ダイナミック多軸動作
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
仕様
仕様
S-331.2SL / S-331.2SH | S-331.5SL / S-331.5SH | 単位 | 公差 | |
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駆動軸 | θX、θY | θX、θY | ||
動作および位置決め | ||||
内蔵センサー | SGS | SGS | ||
オープンループストローク チップ/チルト角 θX、θY-20~+120V | 4.2 | 7 | mrad | 最小 |
クローズドループストローク チップ/チルト角 θX、θY | 3 | 5 | mrad | |
オープンループ分解能θX、θY | 0.05 | 0.1 | µrad | 標準 |
クローズドループ分解能θX、θY | 0.1 | 0.25 | µrad | 標準 |
リニアリティエラー( θX、θY) | 0.3 (1) 0.1 (2) | 0.3 (1) 0.1 (2) | % | 標準 |
再現性 θX、θY10%チルト角 | 0.3 | 0.5 | µrad | 標準 |
再現性 θX、θY100%チルト角 | 3 | 5 | µrad | 標準 |
機械特性 | ||||
無負荷時共振周波数(θX/θY) | 12 | 16 | kHz | ±20 % |
共振周波数θX、θY(withΦ12.7 mmx3 mmのガラスミラー) | 9 | 10 | kHz | ±20 % |
ピボットポイントと表面プラットフォームの距離 | 4 | 4 | mm | ±1mm |
プラットフォーム慣性モーメント | 30 | 30 | g × mm² | ±20 % |
駆動特性 | ||||
セラミックタイプ | PICMA | PICMA | ||
静電容量 | 0.96/軸 | 6.2/軸 | µF | ±20 % |
その他 | ||||
IDチップ機能 | S-331.2SH | S-331.5SH | ||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | °C | |
原材料 (ハウジング) | ステンレススチール | ステンレススチール | ||
表面材料 | チタン | チタン | ||
質量 | 0.13 | 0.28 | kg | ±5 % |
ケーブル長さ | 2 | 2 | m | +100 mm / -0 mm |
センサー/ボルト接続 | SHバージョン:Sub-D 37 (m) SLバージョン:LEMO | SHバージョン:Sub-D 37 (m) SLバージョン:LEMO | ||
推奨コントローラ | E-503、E-727 | E-503、E-727 |
ダウンロード
製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
データシート
ドキュメント
User Manual PZ256 (英語)
S-331 High-Dynamics Piezo Tip / Tilt Systems with High Stiffness
3D モデル
3-D model S-331.2SH
3-D model S-331.5SH
見積 / 発注
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