S-331 高速チップ/チルトプラットフォーム

短時間の整定時間でハイダイナミクスなリニアリティ

チップ/チルト角5mrad、光偏向角10mrad(0.57°)
パラレル制御設計によるチップ/チルト両軸での高性能特性
ダイナミックモーションと高速ステップ＆セトリングの高い共振周波数
高リニアリティの位置センサー
最大12.7mm径（0.5"）のミラー用

S-331, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.

S-331.xSL with cable splitter box; dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.

Unidirectional linearity error for both axes: The solid blue line represents axis 1, the dotted brown line represents axis 2. The linearity error at full displacement of the S-331.5SH with the E-727.3SD digital piezo controller is less than 0.05 %.

Full displacement of an unloaded S-331.5SL with E-505 piezo amplifier module and E-509 servo controller module

Settling time of an unloaded S-331.5SL at full displacement with E-505 piezo amplifier module and E-509 servo controller module: The settling time is 3 ms with an accuracy of ±1 % for a step of 5 mrad (full displacement).

System frequency response with different E-727 controllers: S-331.2SH

System frequency response with different E-727 controllers: S-331.5SH

画像処理/安定化
光学トラッピング
レーザースキャニング/ビームステアリング
レーザーチューニング
光学フィルター/スイッチ
光学系
ビーム安定化

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します

メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。

すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。

平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。

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データシート

日付 / バージョン

2021-09-23

pdf - 690 KB

日付 / バージョン

2021-09-23

pdf - 754 KB

日付 / バージョン

2018-05-22

pdf - 891 KB

日付 / バージョン

2018-07-19

pdf - 968 KB

ダウンロード

	S-331.2SL / S-331.2SH	S-331.5SL / S-331.5SH	単位	公差
駆動軸	θ_X、θ_Y	θ_X、θ_Y
動作および位置決め
内蔵センサー	SGS	SGS
オープンループストロークチップ/チルト角 θ_X、θ_Y-20～＋120V	4.2	7	mrad	最小
クローズドループストロークチップ/チルト角 θ_X、θ_Y	3	5	mrad
オープンループ分解能θ_X、θ_Y	0.05	0.1	µrad	標準
クローズドループ分解能θ_X、θ_Y	0.1	0.25	µrad	標準
リニアリティエラー( θ_X、θ_Y)	0.3 ⁽¹⁾ 0.1 ⁽²⁾	0.3 ⁽¹⁾ 0.1 ⁽²⁾	%	標準
再現性 θ_X、θ_Y10%チルト角	0.3	0.5	µrad	標準
再現性 θ_X、θ_Y100%チルト角	3	5	µrad	標準
機械特性
無負荷時共振周波数（θ_X/θ_Y）	12	16	kHz	±20 %
共振周波数θ_X、θ_Y（withΦ12.7 mmx3 mmのガラスミラー）	9	10	kHz	±20 %
ピボットポイントと表面プラットフォームの距離	4	4	mm	±1mm
プラットフォーム慣性モーメント	30	30	g × mm²	±20 %
駆動特性
セラミックタイプ	PICMA	PICMA
静電容量	0.96/軸	6.2/軸	µF	±20 %
その他
IDチップ機能	S-331.2SH	S-331.5SH
動作温度範囲	-20～80	-20～80	°C
原材料 (ハウジング)	ステンレススチール	ステンレススチール
表面材料	チタン	チタン
質量	0.13	0.28	kg	±5 %
ケーブル長さ	2	2	m	+100 mm / -0 mm
センサー/ボルト接続	SHバージョン：Sub-D 37 (m) SLバージョン：LEMO	SHバージョン：Sub-D 37 (m) SLバージョン：LEMO
推奨コントローラ	E-503、E-727	E-503、E-727