S-335 高速チップ/チルトプラットフォーム
短時間の整定時間でハイダイナミクスなリニアリティ
- チップ/チルト角35mrad、光偏向角70mrad(4°)
- ダイナミックモーションと高速ステップ&セトリングの高い共振周波数
- パラレルキネマティック設計:1つの回転中心を有する2つの直交チップ/チルト軸
- 歪みセンサーによる高リニアリティ
- 異なるバージョン対応可能:ミラーなし 1/2"ミラー 1”ミラー
応用分野
- 画像処理/安定化
- 光学トラッピング
- レーザースキャニング/大きな偏向角でのビームステアリング
- レーザーチューニング
- 光学フィルター/スイッチ
- 光学系
- ビーム安定化
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
平行運動による高ダイナミック多軸動作
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
仕様
仕様
S-335.2SH* | S-335.2HM1** | S-335.2SHM2*** | 単位 | 公差 | |
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駆動軸 | θX、θY | θX、θY | θX、θY | ||
動作および位置決め | |||||
内蔵センサー | SGS | SGS | SGS | ||
チップ/チルト角,クローズドループ(0-120V) | ±17.5 | ±17.5 | ±17.5 | mrad | |
分解能(オープンループ時) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | µrad | 標準 |
分解能(クローズドループ時) | 1.0 | 1.0 | 1.0 | µrad | 標準 |
リニアリティ | 0.05(一方向) | 0.05(一方向) | 0.05(一方向) | % | 標準 |
再現性 | 1(双方向) | 1(双方向) | 1(双方向) | µrad | 標準 |
機械特性 | |||||
共振周波数 無負荷時 | 2 | - | - | kHz | ±20 % |
共振周波数(withΦ12.5mmx3mmの水晶ガラスミラー) | 1.6 | 1.6 | - | kHz | ±20 % |
共振周波数(withΦ25.4mmx4mmの水晶ガラスミラー) | 0.7 | - | 0.7 | kHz | ±20 % |
ピボットポイントとプラットフォーム面の距離 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | mm | ±0.25 mm |
駆動特性 | |||||
セラミックタイプ | PICMA P-885 | PICMA P-885 | PICMA P-885 | ||
軸あたりの静電容量 | 6.2 | 6.2 | 6.2 | µF | ±20 % |
その他 | |||||
IDチップ機能 | Yes | Yes | Yes | ||
動作温度範囲 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | °C | |
表面材料 | チタン | チタン | チタン | ||
重量(ケーブルとコネクタ含む) | 320 | 325 | 330 | g | ±5 % |
ケーブル長さ | 2 | 2 | 2 | m | +100 mm / -0 mm |
センサー/ボルト接続 | D-Sub37(m) | D-Sub37(m) | D-Sub37(m) | ||
推奨コントローラ | E-727 | E-727 | E-727 |
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製品についての注意事項
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
データシート
ドキュメント
3D モデル
S-335 3-D model
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テクノロジー

PICMA® テクノロジー
特許取得済みの多層アクチュエータの製造技術は、高い信頼性と長寿命をお約束いたします。

フレクシャガイドシステム
PI社のフレクシャガイドは、ナノポジショニングの世界においてその価値を証明しています。フレクシャガイドはピエゾをガイドし、傾きや横方向へのズレがない直進性を保証します。

デジタルモーションコントローラ
デジタルテクノロジーにより、従来のアナログ技術にはなかった制御工学使い、パフォーマンスを改善する可能性があります。

パラレルキネマティック
パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータは、ただ一つの可動プラットフォームに対して、ダイレクトに動作します。