P-611.XZ • P-611.2 XZ XYZナノポジショナー

ナノポジショニング向け小型2軸ピエゾシステム

P-611.XZ • P-611.2 XZ XYZナノポジショナー
製品の解説 仕様 ダウンロード 見積 / 発注
  • 小型:表面サイズ44 mm×44 mm
  • 移動範囲~120 μmx120μm
  • 分解能~0.2nm
  • コストパフォーマンスのよいシステム(メカとコントローラ)
  • ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
  • PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
  • リニア Zステージ XYZバージョンも対応可能

応用分野

  • 干渉計
  • 顕微鏡検査
  • ナノポジショニング
  • バイオテクノロジー
  • 検査と品質保証
  • フォトニクス
  • ファイバー調整
  • 半導体テクノロジー

ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供。1000億回のサイクルが実証されています。

ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します

仕様

データシート

Datasheet P-611.XZ • P-611.2 (英語)

日付 / バージョン
2019-01-18
日付 / バージョン
2019-01-18
日付 / バージョン
2019-01-18
日付 / バージョン
2019-01-18
ドキュメントの言語

ダウンロード

データシート

データシート

Datasheet P-611.XZ • P-611.2 (英語)

日付 / バージョン
2019-01-18
日付 / バージョン
2019-01-18
日付 / バージョン
2019-01-18
日付 / バージョン
2019-01-18
ドキュメントの言語

ドキュメント

ドキュメント

User Manual PZ253 (英語)

P-611 Nanopositioning Systems with Strain Gauge Sensors / without Sensor
日付 / バージョン
1.1.0 2019-03-25
日付 / バージョン
1.1.0 2019-03-25
ドキュメントの言語
ドキュメント

Technical Note P611T0006 (英語)

Unpacking and Handling of P-611 Nanopositioning Systems
日付 / バージョン
2018-01-24
ドキュメントの言語 英語
ドキュメント

Short Instructions PZ240EK

P-5xx / P-6xx / P-7xx Piezo Positioning Systems
日付 / バージョン
5.0.0 09/2018
ドキュメントの言語 英語

3D モデル

3D モデル

P-611.XY • P-611.2 3-D model

見積 / 発注

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