ガイド、モーションアンプ、プリロードの一体化
ナノポジショニング技術において、フレクシャガイドは最大数ミリメートルの位置決めに適していることが示されています。フレクシャジョイントのモーションは、固体の弾性変形に基づいています。このため、静止摩擦、回転摩擦、すべり摩擦が抑えられています。
特性
フレクシャ構造には、剛性が高く、負荷容量が大きく、耐摩耗性が優れているという利点があります。メンテナンス不要であるとともに非磁性体で製造可能であり、潤滑剤や消耗品が不要であるため真空環境でも問題なく動作します。