ピエゾドライブ技術の比較

各ピエゾドライブ技術の特徴と応用範囲の比較を以下に示します。ご質問がある場合はお問い合わせください。お客様に最適なソリューションをご用意します。

PICMA® / PICAPiezoWalk®PILine®Q-Motion®PiezoMike
原理ピエゾステッピング超音波慣性慣性
分解能nm以下nm以下µm以下nm以下20 nm
速度-~10 mm/s最大数百mm/s10 mm/s以上0.2 mm/s程度
応答時間は数µsの範囲ハイダイナミクススキャンモード無音(動作周波数が非常に高い)無音(動作周波数が非常に高い)高い安定性
トラベルレンジ直接的には最大300 µm程度、レバー増幅機構使用時には2 mmランナーの長さでのみ制限ランナーの長さでのみ制限ランナーの長さでのみ制限~50 mm程度
最大100 kN最大800 N (NEXLINE®)~40 N~10 N>>保持力100 N、お送り力, >20 N
高剛性静止状態ではセルフロッキング静止状態ではセルフロッキング静止状態ではセルフロッキング静止状態ではセルフロッキング
マルチアクチュエータドライブによりステッピングモーションを発生シングルアクチュエータドライブシングルアクチュエータドライブシングルアクチュエータドライブ
制御モードアナログ電圧高周波交流電圧(正弦波)高周波交流電圧(変形ノコギリ波)高周波交流電圧(変形ノコギリ波)
電圧範囲150 V (PICMA®)、1100 V (PICA®)55 V (NEXACT®)、500 V (NEXLINE®)120 V、200 V、ミニモーターの場合極めて低い<48 V~100 V
適した用途高ダイナミクスでのnm精度のポジショニングnm精度のポジショニングµm以下の精度のポジショニングnm精度で長期間安定したポジショニング長期間安定したポジショニング
レバー増幅機構およびガイド付きシステム保持力の高い準静的な用途高速ステップ&整定保持力の高い準静的な用途超高真空環境
ピエゾスキャナー 最大数mmのトラベルレンジ高速スキャンモード
微調整粗調整および微調整一定の低速度での動作
力発生力発生
アクティブ防振アクティブ防振
一定の低速度での動作

ダウンロード

PiezoWalk® Piezo Stepping Drives

バージョン/日付
TEC71 10/2017
ドキュメントの言語 英語

Poster: PI Piezomotor Technology

Selection guide for the best solution
バージョン/日付
POS14E
ドキュメントの言語 英語