最大トラベルレンジ100 µmの最小パラレルキネマティックピエゾシステム: P-616 XYZ軸での高精度ポジショニング用NanoCube®

パラレルキネマティック設計のP-616 NanoCube® は、極めて小さく高い精度を実現します

P-616の寸法は、わずか40 × 40 × 40 mmであり、重量はわずか80 gです。3軸方向のトラベルレンジはすべて100 µmで分解能は0.3 nmです。この高分解能は、非接触型静電容量センサによって直接実現されます。

NanoCube® のパフォーマンス特性を実現するため、PI社は、3つのレバー増幅PICMA® アクチュエータや無摩擦フレクシャを利用するパラレルキネマティック設計を採用しています。この駆動概念により、コンパクトなフォームとシステムの高いシステム剛性が可能となっています。PICMA® アクチュエータは、極端な環境条件下での長い寿命も特徴です。これによって、温度範囲-20° ～80° および10^-6の真空におけるNanoCube® の運用などが可能となっています。

単に接続するだけで

カスタマイズとスムーズな動作を確実なものにするため、すべての必須パラメータと個々の製品情報を保存するIDチップセットがP-616niha備わっており、電子機器から読み取り可能です。新しい電子機器または最適化された電子機器が接続されたら、装置は再構成することなく直接使用準備を完了します。

データシート: P-616 NanoCube® ナノポジショナー