高精度および速度のエアベアリング平面スキャナ

A-322:高精度ロングトラベルレンジ　エアベアリング平面スキャナ

平面スキャナは高分解が必要とされ、高スループットが要求されるようなクリーンルーム環境の検査装置には最適なステージです。

フレクシャ機構によりクロスビームで上下軸を連結することにより、システムの剛性を損なうことなく、ヨーイングの最適化を行えませます。コアレスリニアモータは、スムーズなモーションでコギングのない優れた発生力を生み出します。

PIglide平面スキャナは、3つの高精度リニアエンコーダを搭載しています。1つは上軸用で、2つは下軸用です。インクリメンタルエンコーダとアブソリュートエンコーダの両方のオプションをご利用いただけます。

A-322は、デジタルコントローラで制御します。このデジタルコントローラは、ダイナミックな動作を改善したり、ガイド誤差を改善したりする高度なアルゴリズムを提供します。また、幅広いソフトウエアを開発するツールも同時に提供しております。

データシート: A-322 PIglide^TM HSエアベアリングステージ