ナノメートルの分解能
ランナーを移動させる低速制御フェーズ(スティックフェーズ)では、ドライブは従来のピエゾセラミックアクチュエータと同じように動作します。印加する電圧を変えることでアクチュエータを任意の位置に置くことができるため、ピエゾセラミックの特徴である高いモーション分解能が得られます。
位置を測定するインクリメンタルエンコーダと組み合わせることで、長いトラベルレンジにわたって高いポジショニング精度とモーション再現性を両立できます。
ランナーを移動させる低速制御フェーズ(スティックフェーズ)では、ドライブは従来のピエゾセラミックアクチュエータと同じように動作します。印加する電圧を変えることでアクチュエータを任意の位置に置くことができるため、ピエゾセラミックの特徴である高いモーション分解能が得られます。
位置を測定するインクリメンタルエンコーダと組み合わせることで、長いトラベルレンジにわたって高いポジショニング精度とモーション再現性を両立できます。