M-105リニアステージにはさまざまな構成があり、最大トラベルレンジは18mmです。2μm以上のガイド精度を可能にするクロスローラーベアリング モーションプラットフォームには、バックラッシュを抑えるために精密マイクロメータネジに対してスプリングがあらかじめ取り付けられています。
XYZバージョンでは、Z軸はアダプタブラケットと組みつけられています。そのため荷重がバネの予荷重の方向に作用します。
マニュアルサンプルマニピュレーション
M-105.10
M-105.1P**
単位
誤差
移動範囲
18
mm
ピエゾ微調整移動範囲
–
30
µm
最小インクリメンタルモーション（ピエゾドライブ）
0.01
最小インクリメンタルモーション（マイクロメータースクリュー）*
1
バックラッシュ
2
直線性
平坦度
負荷容量
100
N
最大
圧縮/引張力
20 / 4
ラテラルフォース
25
駆動
マイクロメータースクリュー
P-854.00
駆動ねじピッチ（粗/微）
0.5 / –
質量
0.32
0.38
kg
原材料 (ハウジング)
St
推奨ピエゾドライバ
E-610, E-500 システム
M-105.20, M-105.2B, M-105.30, M-105.3BA, M-105.3BB, M-105.81 and M-106.10, M-106.20, M-106.30
Overview of all possible combinations of PI linear, rotary and tilt stages
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